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Next step in the evolution of environmental impact and cost reducing technologies like gas recycling
Oyama, Japan, July 6, 2016 ‒ Gigaphoton Inc. (Head Office: Oyama, Tochigi President & CEO: Hitoshi Tomaru www.gigaphoton.com), a leading manufacturer of light sources used in lithography, has announced a new roadmap for green innovation that reduces environmental impact for customers. Drawing on its wealth of experience gained through pursuing its roadmap since 2003, Gigaphoton plans to continue turning the goal of utility cost reductions into reality.
Gigaphoton has taken the initiative to proactively provide green innovation technologies in line with its EcoPhoton* program in an effort to address the global concerns of recent years, some of which include the decline in neon and helium gas supplies and ensuing sharp rise in their prices, as well as the dramatic rise in energy use on a global scale. In 2013, the company developed technology to reduce helium gas consumption by 99%1 by replacing the helium gas with nitrogen. This was followed by the company developing eTGM in 2014, a technology which made it possible to reduce neon gas consumption by up to 50%2. Next, the company’s eGRYCOS technology, released in 2015, made it possible to reduce electricity consumption by 15%3 without compromising laser performance by improving the efficiency of laser discharge by 20%.
The new roadmap being announced at this time will further accelerate the evolution of such products. The company has developed a neon gas recycling system that removes impurities from the gas and recycles it to a purity level equivalent to the fresh gas supplied from cylinders. This has made it possible to achieve neon gas consumption to as close as possible to zero. As for helium gas, the company has also developed technologies that maintain higher reliability without sacrificing any optical properties by replacing the helium with nitrogen. The company is also dedicated to developing technologies that will reduce electricity consumption by a half by 2020 while simultaneously pursuing its goal to improve laser output, which is demanded in cutting-edge lithography processes.
Hitoshi Tomaru, President & CEO of Gigaphoton says, “We are carrying out our initiatives with green innovation as one of our highest priorities, which is the driving force behind realizing environmentally-friendly green factories—and these efforts have been extremely well received by many customers. We plan to double our efforts to ensure that we can continue to provide the kind of technologies and services customers find useful.”
1‒3: compared with the company’s conventional products
Click to view a past news release on ETGM
Click to view a past news release on helium-free initiatives
Click to view a past news release on eGRYCOS
About the EcoPhoton™ program
The EcoPhoton™ program is a roadmap started in 2003 to implement Green Innovations. The focus is on detailed analyses of three key cost-of-ownership (CoO) metrics: cost of consumables (CoC), cost of downtime (CoD), and cost of environment (CoE). The program aims at achieving continuous reduction of these costs by developing innovative green technologies.
About Gigaphoton
Since it was founded in 2000, Gigaphoton has delivered valuable solutions to semiconductor manufacturers throughout the world as a laser supplier. In every stage from R&D to manufacture, sales, and maintenance services, Gigaphoton is committed to providing world-class support delivered from the perspective of everyday users. For more information please visit www.gigaphoton.com.
Media contact:
| Gigaphoton Inc.
Corporate Planning Department Akinori Matsui TEL: +81-285-37-6931 Email: web_info@gigaphoton.com |
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ガスリサイクルなどの環境負荷コスト削減技術がさらに進化
栃木県小山市； 2016年7月6日 — リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁、www.gigaphoton.com）は、顧客の環境負荷低減活動である、グリーンイノベーションの新たなロードマップを発表しました。 2003年から続くこの取り組みの中で培った豊富な実績と経験を生かして、さらなるユーティリティコストの削減を実現していきます。
ギガフォトンは、近年の業界の懸念事項である、ネオンガス・ヘリウムガスの供給量の減少と価格の高騰、および世界規模での急激な電力使用量の増加に対応するため、独自のエコフォトンプログラム（注に沿って、積極的にグリーンイノベーション技術を提供してきました。2013年にはヘリウムガスを窒素に置き換えることでヘリウムガスの使用量を99%削減*1できる技術を、2014年にはネオンガス消費量を最大50%削減*2できる「eTGM」技術を開発しました。また、2015年にリリースした「eGRYCOS」技術では、レーザ放電効率を20%向上させることにより、レーザ性能を維持しながら消費電力15%の削減*3が可能となりました。
今回発表した新ロードマップでは、これらの技術にさらなる進化が加わりました。ネオンガスに関しては、不純物を取り除き、シリンダーから供給されるフレッシュガスと同等レベルの純度でネオンガスを再生させるリサイクルシステムを開発しました。それによりネオンガスの使用量を限りなくゼロに近づけることが可能となります。またヘリウムガスについては、ヘリウムを窒素に置き換えても光学特性を犠牲にすることなく、より高い安定性を維持する技術を開発しました。電力においては、最新リソグラフィプロセスで要求されているレーザの高出力化を目指すと同時に、2020年までに電力消費量を半分までに削減する技術に取り組みます。
ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「当社では環境に配慮したグリーン工場の実現を推進するグリーンイノベーションを最重要課題の一つとして、これに取り組んでおり、多くのお客様に高い評価を頂いております。今後もお客様に役立つ技術・製品を提供するため、より一層の努力をして参ります。」
*1～3当社従来比
（注EcoPhoton™プログラムについて
EcoPhoton™プログラムは、環境に優しくユーザーフレンドリーなリソグラフィ光源を提供するために、ギガフォトンが2003年以来策定・実現しているロードマップです。このプログラムでは、レーザの稼働コスト（Cost of Ownership = CoO）を、消耗部品により発生するコスト（Cost of Consumable = CoC）、ダウンタイムにより発生するコスト（Cost of Downtime=CoD）、環境負荷のコスト（Cost of Environment = CoE）の3種類に分類し、それぞれのコスト要因を詳細に分析、新技術の投入により継続的なコスト低減を目指します。
ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。
報道関係者向けの連絡窓口：
| ギガフォトン株式会社
経営企画部 松井章記 TEL: 0285-37-6931 Eメール: web_info@gigaphoton.com |
[:cs]
气体循环利用等降低环境负荷成本的技术取得新进步
栃木县小山市消息–(美国商业资讯)–2016年7月6日，光刻光源的主要生产厂商Gigaphoton株式会社（总公司地址：栃木县小山市，董事长兼总经理：都丸仁，网址：www.gigaphoton.com）发布了绿色革新的新路线图。在这里，绿色革新是指一项降低客户环境负荷的活动。该项目始于2003年。该公司充分利用在该项目中取得的成果和经验，达到了进一步降低使用成本的目的。
为了应对近年来业界所担忧的氖气和氦气的供给量减少与涨价、以及全球范围内的电力使用量急剧增加的课题，Gigaphoton积极地采用独自开发的EcoPhoton计划（注提供了一系列绿色革新技术。2013年开发了一种通过用氮气代替氦气的方法将氦气使用量减少99%*1的技术，2014年开发出了一种“eTGM”技术，通过该技术可以将氖气消耗量最多减少50%*2。另外，该公司2015年开发出的“eGRYCOS”技术可以将激光放电效率提高20%，借助于这项技术，在保持激光性能的同时，能够降低15%的耗电量*3。
在此次发布的新路线图中，以上技术得到了进一步的改进。针对氖气开发出了一种循环利用系统，利用该系统可以去除杂质，并使再生的氖气纯度达到与气缸供给的新鲜气体同等的水平。这样，可以使氖气的使用量接近于零。另外，该公司还针对氦气开发出了一种稳定性更高的技术，即使用氮气代替氦气也不会牺牲光学特性。在电力方面，在确立提高最新光刻工序所要求的激光的高功率的目标的同时，还计划在2020年之前开发出一种将耗电量减半的技术。
Gigaphoton董事长、总经理兼CEO都丸仁先生说：“本公司将推进建立环保型绿色工厂的绿色革新作为最重要的课题之一，积极地进行相关的技术研发，得到了越来越多客户的高度评价。为了向客户提供有用的技术和产品，我们今后仍将一如既往地更加努力。”
*1～3本公司与以往相比的比例。
此前与eTGM相关的新闻稿
此前与无氦相关的新闻稿
（注EcoPhoton™计划简介
EcoPhoton™计划是Gigaphoton2003年以来制定并实施的路线图，旨在提供一种环保型、符合用户需要的光刻光源。在该计划中，把激光的拥有成本（Cost of Ownership = CoO）分为3类，即：耗材所形成的成本（Cost of Consumable = CoC）、停机时间所形成的成本（Cost of Downtime=CoD）、以及环境负荷的成本（Cost of Environment = CoE），并对各类成本的主要成因进行详细分析，旨在提供运用新技术达到持续降低成本的目的。
Gigaphoton公司简介
Gigaphoton成立于2000年，是一家激光供应商，自成立以来不断为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。Gigaphoton时刻以客户为中心，从产品研发到生产、销售及维护，为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问：www.gigaphoton.com。
免责声明：本公告之原文版本乃官方授权版本。译文仅供方便了解之用，烦请参照原文，原文版本乃唯一具法律效力之版本。
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经营企划部 松井章记 电话：+81-285-37-6931 邮箱：web_info@gigaphoton.com |
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氣體循環利用等降低環境負荷成本的技術取得新進步
栃木縣小山市消息–(美國商業資訊)–2016年7月6日，微影光源的主要生產廠商Gigaphoton株式會社（總公司地址：栃木縣小山市，董事長兼總經理：都丸仁，網址：www.gigaphoton.com）發布了綠色革新的新藍圖。在這裡，綠色革新是指一項降低客戶環境負荷的活動。該專案始於2003年。該公司充分利用在該專案中取得的成果和經驗，達到了進一步降低使用成本的目的。
為了因應近年來業界所擔憂的氖氣和氦氣的供給量減少與漲價，以及全球電力使用量急劇增加的課題，Gigaphoton積極地採用獨自開發的EcoPhoton計畫（註提供了一系列綠色革新技術。2013年開發了一種透過用氮氣代替氦氣的方法將氦氣使用量減少99%*1的技術，2014年開發出了一種eTGM技術，透過該技術可以將氖氣消耗量最多減少50%*2。另外，該公司2015年開發出的eGRYCOS技術可以將雷射放電效率提高20%，憑藉這項技術，在保持雷射性能的同時，能夠降低15%的耗電量*3。
在此次發布的新藍圖中，以上技術得到了進一步的改進。針對氖氣開發出了一種循環利用系統，利用該系統可以去除雜質，並使再生的氖氣純度達到與氣缸供給的新鮮氣體同等的水準。這樣，可以使氖氣的使用量接近於零。另外，該公司還針對氦氣開發出了一種穩定性更高的技術，即使用氮氣代替氦氣也不會犧牲光學特性。在電力方面，在確立提高最新微影製程所要求的雷射高功率的目標的同時，還計劃在2020年之前開發出一種將耗電量減半的技術。
Gigaphoton董事長、總經理兼CEO都丸仁先生說：「本公司將促進建立環保型綠色工廠的綠色革新作為最重要的課題之一，積極地進行相關的技術研發，得到了越來越多客戶的高度評價。為了向客戶提供有用的技術和產品，我們今後仍將一如既往地更加努力。」
*1～3本公司與以往相比的比例。
（注EcoPhoton™計畫簡介
EcoPhoton™計畫是Gigaphoton2003年以來制定並實施的藍圖，旨在提供一種環保型、符合使用者需要的微影光源。在該計畫中，把雷射的持有成本（Cost of Ownership = CoO）分為3類，亦即：耗材的成本（Cost of Consumable = CoC）、停機時間的成本（Cost of Downtime=CoD），以及環境負荷的成本（Cost of Environment = CoE），並對各類成本的主要成因進行詳細分析，旨在提供運用新技術達到持續降低成本的目的。
Gigaphoton公司簡介
Gigaphoton成立於2000年，是一家雷射供應商，自成立以來不斷為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心，從產品研發到生產、銷售及維護，為用戶提供業界最高水準的支援。如需詳細介紹，請造訪：www.gigaphoton.com。
免責聲明：本公告之原文版本乃官方授權版本。譯文僅供方便瞭解之用，煩請參照原文，原文版本乃唯一具法律效力之版本。
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가스 재활용 등 환경 영향 저감과 비용 절감 기술 개선을 위한 다음 단계로 나서
오야마, 일본– 반도체 리소그래피 광원의 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(Gigaphoton Inc.)(본사: 토치기현 오야마시, 대표 이사: 토마루 히토시)(www.gigaphoton.com)가 고객을 위해, 환경에 미치는 영향을 줄이고자 ‘그린 이노베이션’의 새로운 로드맵을 발표했다. 기가포톤은 2003년부터 로드맵을 추진하며 축적한 풍부한 경험을 바탕으로 유틸리티 비용 절감 목표를 현실화 해 나갈 방침이다.
네온 및 헬륨 가스 공급이 감소하면서 해당 가스 가격이 가파르게 상승하고 있으며 전 세계적으로 에너지 사용량은 급증하고 있다. 기가포톤은 최근 몇 년간 이에 대한 세계적 우려에 대처하기 위해 진행 중인 자사의 ‘에코포톤’(EcoPhoton*) 프로그램에 발맞춰 친환경 혁신 기술을 앞장서 제공하는 이니셔티브를 추진해 왔다. 기가포톤은 2013년 헬륨가스를 질소가스로 대체해 헬륨 가스 사용량을 99% 줄이는 기술을 개발했으며[1] 2014년에는 네온 가스 사용량을 최대 50%까지 줄일 수 있는 eTGM 기술을 개발했다.[2] 이어 2015년에는 레이저 방출 효율을 20% 끌어올림으로써 레이저 성능은 그대로 유지하면서 전력 소비량을 15%까지 절감할 수 있는 eGRYCOS 기술을 선보였다.[3]
이번에 공개한 새 로드맵은 이들 제품의 개선에 박차를 가하는 데 중점을 두었다. 기가포톤은 배출 가스에서 불순물을 제거해, 실린더에서 공급되는 신선한 가스와 동등한 수준의 순도를 구현하는 네온 가스 재활용 시스템을 개발했다. 이로써 네온 가스 소비를 제로 수준에 가깝게 줄일 수 있게 되었다. 헬륨가스의 경우 헬륨을 질소로 대체함으로써 광학적 특성은 훼손시키지 않으면서 더 높은 안정성을 유지하는 기술을 개발했다. 기가포톤은 2020년까지 전력 소비량을 절반으로 줄이는 기술을 개발하는 한편, 첨단 리소그래피 공정에 요구되는 레이저 출력을 향상시킨다는 목표를 달성하기 위해 매진하고 있다.
토마루 히토시 기가포톤 대표이사는 “기가포톤은 최고 우선 순위 중 하나인 그린 이노베이션을 바탕으로 이니셔티브를 실행하고 있다”며 “이는 친환경 녹색 공장을 현실화하는 동력이 되고 있으며 이 같은 노력에 많은 고객사의 호평을 얻고 있다”고 말했다. 이어 “고객사에 유용한 기술과 서비스를 계속 제공할 수 있도록 노력을 더해 갈 계획”이라고 강조했다.
[1‒3]: 회사 종래 제품과 비교
eTGM 관련 기존 보도자료
eGRYCOS 관련 기존 보도자료
에코포톤(EcoPhoton™) 프로그램 개요
EcoPhoton™ 프로그램은 2003년 이후 기가포톤이 그린이노베이션을 실현하기 위해 책정한 로드맵이다. 이 프로그램에서는 레이저의 가동비용(Cost of Ownership=CoO)을 소모 부품에 의해 발생하는 비용(Cost of Consumable=CoC), 다운타임에 의해 발생하는 비용(Cost of Downtime=CoD), 환경부하 비용(Cost of Environment=CoE)의 3종류로 분류하여, 이러한 비용의 요인을 상세하게 분석하였다. 에코포톤 프로그램은 혁신적인 그린 테크놀로지의 개발에 의해 이러한 세가지 비용의 지속적인 감소를 목표로 하고 있다.
기가포톤(Gigaphoton) 개요
기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해 왔다. 기가포톤은 초기 연구 개발 단계부터 제조, 판매, 보수 서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계 최고 수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.
사진/멀티미디어 갤러리: http://www.businesswire.com/cgi-bin/mmg.cgi?eid=51369919&lang=en
[이 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.]
언론 연락처
기가포톤(Gigaphoton Inc.)
기업기획부(Corporate Planning Department)
마쓰이 아키노리(Akinori Matsui)
+81-285-37-6931
web_info@gigaphoton.com[:]