[:en]A Fruit of Gigaphoton’s Ever-Evolving Green Innovations, the New “eTGM” Function Enables Neon Gas Consumption to be Reduced by Half and Provides Real-time Monitoring of Gas Usage

OYAMA, JAPAN, August 18, 2014 — Gigaphoton, Inc., a major lithography light source manufacturer, today unveils a new function, called “eTGM,” available for its flagship high-output GT Series of ArF immersion laser products. The eTGM function, a new technology that reduces neon gas consumption by approx. 50%, was developed as part of the EcoPhoton™ program, a roadmap to implement Green Innovations that is being promoted by Gigaphoton.

Today, ArF immersion lasers used for leading-edge semiconductor fabrication utilize a mixture of neon, fluorine, and argon gases as a laser gas, with neon gas accounting for more than 96% of the laser gas mixture. Therefore, a fairly large amount of neon gas is consumed to run ArF immersion lasers. On the other hand, world production of neon gas has been reduced recently, raising the possibility that the price of neon gas will rise in the near future to cause a critical challenge to the entire industry.

The eTGM function closely monitors the laser running status, thereby allowing the injection amount and discharge amount of laser gas to be optimized. By incorporating the eTGM function into the laser unit, the consumption of neon gas can be cut by half without lowering the laser performance. The eTGM function is provided as an option for Gigaphoton’s ArF immersion lasers, and can be incorporated into lasers already running in the field.

In addition, along with introduction of the eTGM function, a new “green monitoring” function is also provided as an upgrade for the paddle of the laser. This upgrade allows the user to monitor the consumption of laser gas in real time under a production environment.

“I am very pleased to introduce eTGM to the market as a new product from our Green Innovations,” commented Hitoshi Tomaru, President and CEO of Gigaphoton, “We believe this technology will help our customers to manage the gas cost in their fabs at an optimum level, thus providing an effective measure against the risk of a rise of neon gas cost caused by the unstable supply of this noble gas. We are committed to proceeding with our EcoPhoton™ program to make further contributions to greening of the semiconductor industry.”

About the EcoPhoton™ Program

The EcoPhoton™ program is a roadmap started in 2003 to implement Green Innovations. The focus is on detailed analyses of three key cost-of-ownership (CoO) metrics: cost of consumables (CoC), cost of downtime (CoD), and cost of environment (CoE). The program aims at achieving continuous reduction of these costs by developing innovative green technologies.

About Gigaphoton

Since it was founded in 2000, Gigaphoton has developed and delivered user-friendly, high-performance DUV laser light sources used by major semi-conductor manufacturers in the Pan-Asian, US and European regions.

Gigaphoton leads the way with cost-effective, highly productive lithography sources for high-volume production. With a global business outlook, Gigaphoton strives to be the world’s number-one lithography light source provider, focusing on end-user needs in every phase of its business — from research and development to manufacturing, to best-in-class reliability and world-class customer support.

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進化を続けるギガフォトンの「グリーンイノベーション」、革新技術でネオンガス消費量の大幅削減とリアルタイムモニタリングを実現

栃木県小山市；　2014年8月18日－リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社は、同社の主要製品である高出力ArF液浸レーザー「GTシリーズ」向けの新機能「eTGM」を本日発表しました。「eTGM」は、ギガフォトンが推進するグリーンイノベーションを実現するためのロードマップであるEcoPhoton™プログラムに従って、ネオンガス消費量の大幅削減を実現するために開発された新技術です。

現在、最先端の半導体製造プロセスで使用されているArF液浸レーザーは、レーザーガスとして、その全体の96%以上を占めるバッファガスであるネオン、及びフッ素とアルゴンの混合ガスを使用しているため、大量のネオンガスを消費します。一方で、希ガスであるネオンの供給量は現在減少傾向で、その価格は上昇する気配を見せているため、産業界にとっての懸案事項となっています。

eTGM機能は、レーザーの稼働状況を綿密に監視することによって、ガスの注入量と排気量を自動的に最適化する技術です。このeTGMを導入するだけで、レーザーの性能を低下させることなく、ネオンガスの使用量を半減することが可能です。eTGMはArF液浸レーザーにオプションとして提供されますが、既にフィールドで稼働しているレーザーにも組み込むことができます。

更に、eTGMを導入することで、レーザーのパドルユニットに新型グリーンモニター機能がアップグレードとして提供されるので、ユーザーは実際の製造環境においてレーザーガス消費量をリアルタイムで監視することが可能になります。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOである都丸仁氏は、次のようにコメントしています。「当社のグリーンイノベーションによる新たな価値ある提案として、eTGMを市場に導入できることを大変嬉しく思っています。この技術は、お客様が半導体製造工場におけるガスコストを最適な状態で管理し、不安定な希ガス供給能力による価格の高騰に対処するために有効であると確信しております。今後も、EcoPhoton™プログラムを引き続き推進することで、半導体産業のグリーン化に貢献していく所存です」。

EcoPhoton™プログラムについて

EcoPhoton™プログラムは、2003年以来、ギガフォトンがグリーンイノベーションを実現するために策定したロードマップです。このプログラムでは、レーザーの稼働コスト（Cost of Ownership = CoO）を、消耗部品により発生するコスト（Cost of Consumable = CoC）、ダウンタイムにより発生するコスト（Cost of Downtime=CoD）、環境負荷のコスト（Cost of Environment = CoE）の3種類に分類し、それぞれのコスト要因を詳細に分析、新技術の投入により継続的なコスト低減を目指します。

ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーによって使用されるユーザーフレンドリーな、高性能DUVレーザー光源を開発、供給してきました。

ギガフォトンは、費用効果と生産性に優れたリソグラフィ光源の大量生産において先導的役割を果たしています。グローバルなビジネス展望を持って、ギガフォトンは、研究開発から製造までの事業のすべての局面においてエンドユーザのニーズに焦点をあて、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートでリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になるよう努力しています。詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。

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