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Company Aims to Globally Expand its World’s First Helium-Free Purging Process
Oyama, Japan — Gigaphoton Inc. (Head Office: Oyama, Tochigi; President & CEO: Hitoshi Tomaru; http://www.gigaphoton.com/en/), a leading manufacturer of light sources used in lithography, has announced that its helium-free technology has made it possible to achieve a 10,000 kiloliter annual reduction of helium gas consumed by high-output ArF immersion excimer lasers (hereinafter, “ArF lasers”).
In line with its EcoPhoton™ program*, Gigaphoton has continued to initiate “Green Innovation” activities since 2013, which are designed to reduce environmental impact for customers. Through such efforts, the company has built up an extensive record of achievements and experience, which it draws on to realize cost reductions for its customers. In July of this year, Gigaphoton also announced a new roadmap for green innovation. Among its multiple efforts, the company’s “helium-free” technology not only provides a solution to concerns over helium gas supply, but also makes a massive contribution to semiconductor and other industries.
Helium gas is used as a purging gas in ArF lasers, and this technology replaces helium gas with nitrogen gas, making it the world’s first technology to reduce helium consumption by 99%. A notable characteristic of this technology is that, even though helium is replaced with nitrogen, it still achieves higher reliability without sacrificing any optical properties. Even major manufacturers with mass production lines consisting of over 90% lasers who have adopted this technology have found that they are able to continue stable operations with no negative impact on the exposure process. The average amount of helium gas currently consumed per ArF laser is about 80 kiloliters per year. Due to this technology being applied to the majority of lasers in the market, a total of 10,000 kiloliters of helium gas consumption has been reduced on a global basis per year. (based on company estimate）
Hitoshi Tomaru, President & CEO of Gigaphoton says, “There is a dire need for helium not just in the semiconductor industry, but as an essential element in other fields as well, such as for MRIs in the medical field and for maglev trains. Another major concern has been demand which continues to grow in emerging economies while supply capacity remains essentially flat. Adoption of this helium-free technology will allow helium to be better supplied to sectors that need it most. Gigaphoton is committed to continuing to be the kind of company that can drive such contributions to industry.”
News releases on Gigaphoton’s New Roadmap for Green Innovation
About the EcoPhoton™ program*
The EcoPhoton™ program is a roadmap, envisioned and realized by Gigaphoton, which has been operating since 2003. The program is intended to provide lithography light sources that are both eco-friendly and user-friendly. In the EcoPhoton™ program, laser operating costs are first separated into three categories: (1) costs incurred by consumable parts, (2) costs incurred by downtime, and (3) costs incurred due to environmental impact. The primary cause of costs in each of these categories is then subjected to a detailed analysis, and new technologies are introduced to achieve the program’s goal of continually reducing costs.
About Gigaphoton
Since it was founded in 2000, Gigaphoton has delivered valuable solutions to semiconductor manufacturers throughout the world as a laser supplier. In every stage from R&D to manufacture, sales, and maintenance services, Gigaphoton is committed to providing world-class support delivered from the perspective of everyday users. For more information please visit www.gigaphoton.com.
Media contact:
Gigaphoton Inc.
Akinori Matsui, +81-285-37-6931
Corporate Planning Division
web_info@gigaphoton.com[:ja]
世界初 ヘリウム不使用のパージプロセスをグローバルに展開
栃木県小山市； 2016年9月28日 — リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁、www.gigaphoton.com）は、同社の「ヘリウムフリー」技術を用いた高出力ArF液浸エキシマレーザー(以下ArFレーザー)の、ヘリウムガス削減量が全世界で年間1万キロリットルにのぼると発表しました。
ギガフォトンは、2013年より顧客の環境負荷低減活動であるグリーンイノベーション活動を独自のエコフォトンプログラム（注に沿って継続しており、その豊富な実績と経験を生かしてこれまで主に顧客の様々なコストを削減してきました。また7月には、グリーンイノベーションの新たなロードマップも発表しています。その中でも、ヘリウムガス供給懸念へのソリューションである「ヘリウムフリー」技術は半導体業界にとどまらず産業界への大きな貢献となっています。
この技術は、ArFレーザー内でパージガスとして使用されるヘリウムガスを窒素に置き換えることにより、その使用量を99％削減させる世界初の技術です。また、窒素に置き換えても光学特性を犠牲にすることなく、ヘリウムガス使用時と同等の高い安定性を維持することができるという特徴があります。当社ユーザーの大手メモリメーカーでも、すでに量産ラインの90％以上のレーザーにこの技術を採用しており、採用後も露光プロセスへの影響なく安定稼働を続けています。現在「ヘリウムフリー」によるArFレーザー1台あたりのヘリウムガス削減量は年間平均約80キロリットルですが、市場にある過半数のレーザーへの適用が進んだため、ヘリウムガス削減量は全世界トータルで年間1万キロリットルになりました。（当社調べ）
ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁はこう述べています。「ヘリウムは、半導体業界以上に、MRI等の医療分野やリニアモーターカー等の分野で代替困難なものとして強く必要とされています。また、新興国での需要が増加する一方で、供給力は横ばいで不足が懸念されています。この「ヘリウムフリー」技術が採用されることにより、ヘリウムは、その使用をより必要とする分野へ供給することができます。ギガフォトンは今後も産業界にこのような貢献ができる会社であるよう邁進していきます。」
「グリーンイノベーション新ロードマップ」に関するニュースリリース
（注
EcoPhoton™プログラムについて
EcoPhoton™プログラムは、環境に優しくユーザーフレンドリーなリソグラフィ光源を提供するために、ギガフォトンが2003年以来策定・実現しているロードマップです。このプログラムでは、レーザーの稼働コスト（Cost of Ownership = CoO）を、消耗部品により発生するコスト（Cost of Consumable = CoC）、ダウンタイムにより発生するコスト（Cost of Downtime=CoD）、環境負荷のコスト（Cost of Environment = CoE）の3種類に分類し、それぞれのコスト要因を詳細に分析、新技術の投入により継続的なコスト低減を目指します。
ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。
報道関係者向けの連絡窓口：
| ギガフォトン株式会社
経営企画部 松井章記 TEL: 0285-37-6931 Eメール: web_info@gigaphoton.com |
[:cs]
世界首创 在全球开展不使用氦的纯化工艺
栃木县小山市–(BUSINESS WIRE)– (美国商业资讯)–光刻光源的主要生产厂商——Gigaphoton公司（总公司：栃木县小山市，总裁：都丸仁，www.gigaphoton.com）宣布，使用该公司“无氦化”技术的高输出ArF浸润式准分子激光器（以下称为ArF激光器）每年在全世界实现的氦气削减量已达到1万千升。
从2013年起，Gigaphoton公司按照独创的EcoPhoton™计划（注，持续实施符合客户需要的降低环境负荷的活动——绿色创新活动。到目前为止，已充分运用其拥有的丰富的实绩与经验，为客户削减了各种成本。7月，该公司发表了新的绿色创新路线图。其中，作为氦气供应难问题的解决方案，“无氦化”技术不仅应用于半导体行业，而且为整个工业界做出了巨大的贡献。
本技术通过将在ArF激光器内作为充填气体使用的氦气置换为氮气的方式，将其使用量削减了99%，这是一种世界首创的技术。另外，即使将氦气置换为氮气，也不会牺牲光学特性，可以保持与使用氦气时相同的高稳定性，这也是本技术的一大特征。大型存储器生产商也已在批量生产线的90%以上的激光器上采用了本技术，而且在采用本技术以后，生产线运转稳定，并未对曝光工序产生影响。现在，1台使用“无氦化”技术的ArF激光器的氦气削减量，虽然每年平均只有80千升左右，但是，本技术已被市场中半数以上的激光器所采用，因此，全世界的氦气削减总量已达到每年1万千升。（本公司调查）
Gigaphoton公司总裁兼首席执行官都丸仁先生表示：“氦气除用于半导体行业以外，作为核磁共振成像(MRI)等医疗领域以及磁悬浮列车等领域中无可替代的资源，其需求量非常大。另外，新兴国家对于氦气的需求也在不断增加，现在已处于供给不足的停滞状态。通过采用此‘无氦化’技术 ，可以将氦气用于更需要的领域。今后，Gigaphoton公司将立志成为可以为工业界作出上述贡献的企业，并不断向前迈进。”
EcoPhoton™计划简介（注 EcoPhoton™计划是Gigaphoton2003年以来制定并实施的路线图，旨在提供一种环保型、符合用户需要的光刻光源。在该计划中，把激光的拥有成本（Cost of Ownership = CoO）分为3类，即：耗材所形成的成本（Cost of Consumable = CoC）、停机时间所形成的成本（Cost of Downtime=CoD）、以及环境负荷的成本（Cost of Environment = CoE），并对各类成本的主要成因进行详细分析，旨在提供运用新技术达到持续降低成本的目的。
Gigaphoton公司简介 Gigaphoton成立于2000年，是一家激光供应商，自成立以来不断为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。Gigaphoton时刻以客户为中心，从产品研发到生产、销售及维护，为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问：www.gigaphoton.com。
声明：此译文仅供参考
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世界首創 在全球展開不使用氦的純化製程
栃木縣小山市–(BUSINESS WIRE)– (美國商業資訊)–微影光源的主要生產廠商——Gigaphoton公司（總公司：栃木縣小山市，總裁：都丸仁，www.gigaphoton.com）宣布，使用該公司「無氦化」技術的高輸出ArF浸潤式準分子雷射器（以下稱為ArF雷射器）每年在全世界實現的氦氣削減量已達到1萬公秉。
從2013年起，Gigaphoton公司按照獨創的EcoPhoton™計畫（注，持續實施符合客戶需要的降低環境負荷的活動——綠色創新活動。到目前為止，已充分運用其擁有的豐富實績與經驗，為客戶削減了各種成本。7月，該公司發表了新的綠色創新藍圖。其中，作為氦氣供應難題的解決方案，「無氦化」技術不僅應用於半導體產業，而且為整個工業界做出了重大貢獻。
本技術透過將在ArF雷射器內作為充填氣體使用的氦氣置換為氮氣的方式，將其使用量削減了99%，這是一種世界首創的技術。另外，即使將氦氣置換為氮氣，也不會犧牲光學特性，可以保持與使用氦氣時相同的高穩定性，這也是本技術的一大特徵。大型記憶體製造商也已在量產線的90%以上的雷射器上採用了本技術，而且在採用本技術以後，生產線運轉穩定，並未對曝光製程產生影響。現在，1台使用「無氦化」技術的ArF雷射器的氦氣削減量，雖然每年平均只有80公秉左右，但是，本技術已被市場中半數以上的雷射器所採用，因此，全世界的氦氣削減總量已達到每年1萬公秉。（本公司調查）
Gigaphoton公司總裁兼執行長都丸仁先生表示：「氦氣除用於半導體產業以外，作為核磁共振攝影(MRI)等醫療領域以及磁懸浮列車等領域中無可替代的資源，其需求量非常大。另外，新興國家對於氦氣的需求也在不斷增加，現在已處於供給不足的停滯狀態。透過採用此『無氦化』技術，可以將氦氣用於更需要的領域。今後，Gigaphoton公司將立志成為可以為工業界作出上述貢獻的企業，并不斷向前邁進。」
EcoPhoton™計畫簡介（注 EcoPhoton™計畫是Gigaphoton2003年以來制定並實施的藍圖，旨在提供一種環保型、符合使用者需要的微影光源。在該計畫中，把雷射的持有成本（Cost of Ownership = CoO）分為3類，亦即：耗材的成本（Cost of Consumable = CoC）、停機時間的成本（Cost of Downtime=CoD），以及環境負荷的成本（Cost of Environment = CoE），並對各類成本的主要成因進行詳細分析，旨在提供運用新技術達到持續降低成本的目的。
Gigaphoton公司簡介 Gigaphoton成立於2000年，是一家雷射供應商，自成立以來不斷為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心，從產品研發到生產、銷售及維護，為用戶提供業界最高水準的支援。如需詳細介紹，請造訪：www.gigaphoton.com。
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세계 최초 헬륨을 사용하지 않는 ‘퍼지 공정’의 글로벌 전개
오야마시 토치기현 일본; 2016년 9월 28일 — 리소그래피 광원의 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(Gigaphoton Inc.)(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사: 토마루 히토시, www.gigaphoton.com)는 자사의 ‘무헬륨(Helium Free)’ 기술을 이용한 고출력 ArF액침 엑시머 레이저(이하 ArF 레이저)의 헬륨가스 감축량이 전세계적으로 연간 1만 킬로리터에 달한다고 발표했다.
기가포톤은 2013년부터 환경에 미치는 영향을 줄이는 고객사의 ‘그린 이노베이션’ 활동을 독자적인 ‘에코포톤(EcoPhoton) 프로그램’을 통해 진행 중이며, 축적한 풍부한 실적과 경험을 바탕으로 지금까지 주로 고객사의 다양한 비용을 절감해 왔다. 또한 7월에는 그린 이노베이션의 새로운 로드맵도 발표했다. 헬륨가스 공급 우려에 대한 솔루션인 ‘무헬륨’ 기술은 반도체 업계뿐만 아니라 산업계에 널리 기여하고 있다.
‘무헬륨’ 기술은 ArF 레이저 안에서 퍼지 가스로 사용되는 헬륨가스를 질소로 대체함으로써 헬륨가스의 사용량을 99％ 감축시키는 세계 최초 기술이다. 또한 질소로 대체하더라도 광학 특성을 훼손시키지 않으면서 헬륨가스를 사용 할 때와 동등하게 뛰어난 안정성을 유지할 수 있는 특징이 있다. 한 대형 메모리 제조업체가 이미 양산 라인의 90％ 이상의 레이저에 이 기술을 채택했다. 채택 후에도 노광 프로세스에 영향을 주지 않고 안정적으로 가동 중이다. 현재 ‘무헬륨’ 기술을 이용하여 얻어지는 ArF 레이저 1대당 헬륨가스 감축량은 연간 평균 약 80킬로리터지만, 시장에 있는 과반수의 레이저에 이 기술이 적용되었기 때문에 전세계적으로 헬륨가스 감축량은 연간 총 1만 킬로리터를 기록했다(당사 조사).
기가포톤 대표이사 겸 CEO인 토마루 히토시는 “헬륨은 반도체 업계보다도 MRI등의 의료분야 및 자기부상열차 등의 분야에서 대체가 힘든 물질로 수요가 매우 높다. 신흥국에서의 수요는 계속 증가하고 있는 반면, 공급 능력은 늘지 않아 헬륨 부족 우려가 높다. 반도체 업계가 이 ‘무헬륨’ 기술 채택함으로써, 헬륨을 더 필요로 하는 분야로 공급을 늘릴 수 있게 되었다. 기가포톤은 산업계에 이러한 공헌을 해나가는 데 계속 매진하겠다.”고 말했다.
에코포톤(EcoPhoton™) 프로그램 개요
EcoPhoton™ 프로그램은 2003년 이후 기가포톤이 그린이노베이션을 실현하기 위해 책정한 로드맵이다. 이 프로그램에서는 레이저의 가동비용(Cost of Ownership=CoO)을 소모 부품에 의해 발생하는 비용(Cost of Consumable=CoC), 다운타임에 의해 발생하는 비용(Cost of Downtime=CoD), 환경부하 비용(Cost of Environment=CoE)의 3종류로 분류하여, 이러한 비용의 요인을 상세하게 분석하였다. 에코포톤 프로그램은 혁신적인 그린 테크놀로지의 개발에 의해 이러한 세가지 비용의 지속적인 감소를 목표로 하고 있다.
기가포톤(Gigaphoton) 개요
기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해 왔다. 기가포톤은 초기 연구 개발 단계부터 제조, 판매, 보수 서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계 최고 수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.
[이 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.]
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기가포톤(Gigaphoton Inc.)
기업기획부(Corporate Planning Department)
마쓰이 아키노리(Akinori Matsui)
+81-285-37-6931
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