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Testing begun for new KrF excimer laser, a light source for the annealing process at large-scale liquid crystal display manufacturing plants; mass production slated for next summer.
OYAMA, Japan—Gigaphoton Inc. (headquarters: Oyama City, Tochigi Prefecture; President & CEO: Hitoshi Tomaru), a major semiconductor lithography light source manufacturer, announced the successful development of a new KrF excimer laser, an application of the excimer laser technology used for semiconductor lithography, for use in annealing. In addition, Gigaphoton announced that testing on the new KrF excimer laser began in November within the mass production line at a panel manufacturer.
This marks the successful development of a new annealing KrF excimer laser for Gigaphoton’s own series of the newly branded GIGANEX excimer lasers (see note, below), taking advantage of KrF technology Gigaphoton has cultivated since that company’s founding. Testing began in November at the mass production line for a panel manufacturer. Designed to be a high output KrF excimer laser, at 600W, this new product is garnering many expectations as an annealing light source for panel manufacturers both within Japan and abroad as demand for large-scale panels with even greater resolutions increases. Gigaphoton is aiming to ship the first mass-produced models of this KrF excimer laser in the summer of 2017.
Hitoshi Tomaru, President and CEO at Gigaphoton Inc., noted that the new KrF excimer laser his company has developed will be added to their GIGANEX series lineup. He anticipates that it will meet the ever more diverse needs of Gigaphoton’s customers and went on to say that the GIGANEX series will be available as a valuable solution moving forward not only the flat-panel display (FPD) industry but for other fields as well.
Past News Releases Specific to GIGANEX
NOTE: GIGANEX
GIGANEX, the new brand from Gigaphoton, refers collectively to a series of new excimer lasers developed using the advanced technological prowess that Gigaphoton has cultivated for semiconductor lithography. Gigaphoton offers GIGANEX as a valuable solution as it works together with partners seeking new innovations to find even more possibilities for excimer laser use in fields beyond semiconductor manufacturing, including FPD manufacturing, flexible device processes, and lithography.
More information is available here:
http://www.gigaphoton.com/ja/products/other/giganex-series
About Gigaphoton
Since it was founded in 2000, Gigaphoton has delivered valuable solutions to semiconductor manufacturers throughout the world as a laser supplier. In every stage from R&D to manufacture, sales, and maintenance services, Gigaphoton is committed to providing world-class support delivered from the perspective of everyday users. For more information please visit www.gigaphoton.com.
The information contained in this press release was correct at the time of publication, and may be changed without prior notice.
Media contact:
Gigaphoton Inc.
Akinori Matsui, +81-285-37-6931
Corporate Planning Division
web_info@gigaphoton.com[:ja]
大型液晶パネル製造工場でのアニール工程向け光源である、新型KrFエキシマレーザーの評価を開始、来年夏の量産を目指す。
栃木県小山市; 2016年12月07日 – 半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁)は、半導体リソグラフィ用エキシマレーザーを応用した、アニール向け新型KrFエキシマレーザーの開発に成功し、11月にはパネルメーカーの量産ラインにて評価を開始したと発表しました。
今回ギガフォトンは、自社新ブランド“GIGANEX” (注シリーズの一環として、同社が創業以来培ったKrF技術を活かしたアニール向け新型KrFエキシマレーザーの開発に成功し、11月にはパネルメーカーの量産ラインにて評価を開始しました。このKrFエキシマレーザーは600Wの高出力仕様であり、大型パネルの高画質化への需要が高まる国内外のパネルメーカーからアニール用光源として大きな期待を寄せられています。ギガフォトンは、このKrFエキシマレーザーの量産機を2017年夏に出荷することを目指します。
ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「当社が開発する、新型KrFエキシマレーザーが、“GIGANEX”シリーズのラインナップに加わり、より多様なお客様のニーズに応えることができると期待しています。“GIGANEX”シリーズは今後もFPD業界を始め様々な分野において価値あるソリューションを提供していきます。」
ギガフォトンの新ブランド“GIGANEX”は、これまでギガフォトンが半導体リソグラフィで培った高い技術力を生かし応用した、新型エキシマレーザーの総称です。“GIGANEX”は、FPD製造、フレキシブルデバイスプロセス、リソグラフィ以外の半導体製造などの分野に向け、新しいイノベーションを共に作り出すパートナーとともに、エキシマレーザーのさらなる可能性を探索し、価値あるソリューションを提供していきます。
《詳細はこちら》
http://www.gigaphoton.com/ja/products/other/giganex-series
ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。
報道関係者向けの連絡窓口:
ギガフォトン株式会社
経営企画部
松井章記
TEL: 0285-37-6931
Eメール: web_info@gigaphoton.com
ニュースリリースに記載されている情報は発表時のものであり、予告なしに変更される場合があります。[:cs]
大型液晶面板制造工厂中用于退火工序的光源——新型KrF受激准分子激光器的评估开始,预计在明年夏天进行批量生产。
栃木县小山市:2016年12月7日–半导体光刻光源的主要生产商Gigaphoton公司(总公司:栃木县小山市,董事长兼总经理:都丸仁)宣布,该公司使用半导体光刻用受激准分子激光器,成功开发出用于退火工艺的新型KrF受激准分子激光器,并且已经于11月通过面板生产商的批量生产线开始进行评估。
作为本公司新品牌“GIGANEX”(注释系列的一个环节,此次,Gigaphoton公司充分运用该公司成立以来研发的KrF技术,成功开发出用于退火工艺的新型KrF受激准分子激光器,并且已经于11月通过面板生产商的批量生产线开始进行评估。本次开发的KrF受激准分子激光器为600W的高输出功率,将作为退火用光源使用。对于高画质大型面板有着越来越严苛要求的国内外面板生产商对本产品寄予了极大的期待。Gigaphoton公司预计于2017年夏天将批量生产的本产品推向市场。
Gigaphoton公司董事长兼总经理兼CEO都丸仁先生表示:“本公司已将所开发的新型新KrF受激准分子激光器列入“GIGANEX”系列的产品阵容,希望可以满足更多客户的需求。“GIGANEX”系列产品今后将会继续为FPD行业等各种领域提供有价值的解决方案。”
(注释“GIGANEX”相关知识
Gigaphoton公司的新品牌“GIGANEX”,是Gigaphoton公司运用迄今为止通过半导体光刻所积累的高超的技术能力开发的新型受激准分子激光器的总称。“GIGANEX”面向FPD生产、挠性设备生产工序、光刻以外的半导体生产等领域,与共同推进技术革新的伙伴一起,进一步探索受激准分子激光器的可能性,不断地为客户提供有价值的解决方案。
《详情请点击》
http://www.gigaphoton.com/cs/products/other/giganex-series
Gigaphoton公司简介
Gigaphoton成立于2000年,是一家激光供应商,自成立以来不断为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。Gigaphoton时刻以客户为中心,从产品研发到生产、销售及维护,为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问:www.gigaphoton.com。
声明:此译文仅供参考
新闻媒体专用联系窗口:
Gigaphoton株式会社
经营企划部
松井章记
电话:+81-285-37-6931
邮箱:web_info@gigaphoton.com
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大型液晶面板製造廠開始計畫在退火製程的光源工程中,評估導入新型KrF準分子雷射器,預估明年夏季進行量產。
栃木縣小山市:2016年12月7日 – 半導體微影光源的主要生產廠商Gigaphoton公司(總公司:栃木縣小山市,董事總經理:都丸仁)宣布,該公司使用半導體微影用準分子雷射器,成功開發出用於退火製程的新型KrF準分子雷射器,並且已經於11月開始在面板廠的量產生產線進行評估。
Gigaphoton將新產品GIGANEX(注釋系列作為公司發展的重要環節,持續充分運用該公司成立以來研發的KrF技術,成功開發出用於退火製程的新型KrF準分子雷射器,並且已經於11月開始在面板廠的量產生產線進行評估。作為開發退火用光源的KrF準分子雷射器,具有600W的高輸出功率,符合高畫質大型面板的嚴苛規格要求,使得國內外面板廠對於本產品寄予了極大的期待。Gigaphoton公司預計於2017年夏季開始量產本產品。
Gigaphoton公司董事總經理都丸仁先生表示:「本公司已將所開發的新型KrF準分子雷射器納入GIGANEX系列的產品陣容,希望可以滿足更多客戶的需求。GIGANEX系列產品今後將會繼續為FPD產業等各種領域提供有價值的解決方案。」
(注釋GIGANEX相關知識
Gigaphoton公司的新產品系列GIGANEX,是Gigaphoton公司持續不斷累積半導體微影所的先進技術能力,所開發的新型準分子雷射器的總稱。GIGANEX用於FPD生產、軟性設備製程、微影製程以外的半導體相關製程領域。本公司將與合作夥伴攜手合作,共同推動技術革新,進一步探索準分子雷射器的可能應用,不斷地為客戶提供有價值的解決方案。
《詳情请造訪》
http://www.gigaphoton.com/ct/products/other/giganex-series
Gigaphoton公司簡介
Gigaphoton成立於2000年,是一家雷射供應商,自成立以來不斷為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶導向為中心,從產品研發到生產、銷售及維護,為用戶提供業界最高水準的支援。如需詳細介紹,請造訪:www.gigaphoton.com。
新聞發布稿中記載的資訊為發表時所能獲得的資訊,如有變更,恕不另行通知。
新聞媒體專用聯絡窗口: Gigaphoton株式會社 經營企劃部 松井章記 電話:+81-285-37-6931 信箱:web_info@gigaphoton.com[:kr]
대형 액정패널 제조공장에서의 어닐링 공정용 광원인 신형 KrF 엑시머 레이저에 대한 평가를 개시하고 내년 여름 양산을 목표로 한다.
오야마, 일본–(Business Wire/뉴스와이어) 2016년 12월 07일 — 반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 토마루 히토시)가 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저를 응용한 어닐링용 신형 KrF 엑시머 레이저 개발에 성공하여 11월에는 패널 제조업체의 양산라인에서 평가를 개시했다고 발표했다.
이번에 기가포톤은 자사의 새로운 브랜드 “GIGANEX”(주 시리즈의 일환으로써 동사가 창업 이래 축적해 온 KrF 기술을 활용한 어닐링용 신형 KrF 엑시머 레이저 개발에 성공하였으며, 11월에는 패널 제조업체의 양산라인에서 평가를 개시했다. 신형 KrF 엑시머 레이저는 600W의 고출력 사양으로, 대형 패널의 고화질화에 대한 수요가 높아지는 국내외 패널 제조업체들이 어닐링용 광원으로써 큰 기대를 걸고 있다. 기가포톤은 신형 KrF 엑시머 레이저 양산기를 2017년 여름 출하를 목표로 하고 있다.
기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO인 토마루 히토시는 “당사가 개발하는 신형 KrF 엑시머 레이저가 “GIGANEX” 시리즈의 라인업에 추가되었기 때문에 보다 다양한 고객의 니즈에 대응할 수 있을 것으로 기대한다”며 “’GIGANEX’ 시리즈는 앞으로도 FPD 업계를 비롯한 다양한 분야에서 가치 있는 솔루션을 제공해 나가겠다”고 말했다.
기가포톤의 새로운 브랜드 ‘GIGANEX’는 지금까지 기가포톤이 반도체 리소그래피에서 축적한 높은 기술력을 활용하여 응용한 신형 엑시머 레이저의 총칭이다. ‘GIGANEX’는 FPD 제조, 플렉시블 디바이스 프로세스, 리소그래피 이외의 반도체 제조 등의 분야에서 새로운 이노베이션을 함께 창출해 내는 파트너와 같이 엑시머 레이저의 무한한 가능성을 탐색하면서 가치 있는 솔루션을 제공해 나가겠다.
《자세한 내용은 다음을 참조》
http://www.gigaphoton.com/kr/products/other/giganex-series
기가포톤(Gigaphoton) 개요
기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 세계 반도체 메이커에 제공해 왔다. 기가포톤은 초기 연구 개발 단계부터 제조, 판매, 보수 서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계 최고 수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.
[이보도자료는해당기업에서원하는언어로작성한원문을한국어로번역한것이다. 그러므로번역문의정확한사실확인을위해서는원문대조절차를거쳐야한다. 처음작성된원문만이공식적인효력을갖는발표로인정되며모든법적책임은원문에한해유효하다.]
언론연락처
기가포톤(Gigaphoton Inc.)
기업기획부(Corporate Planning Department)
마쓰이아키노리(Akinori Matsui)
+81-285-37-6931
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