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Aiming at breaking through the 99.8% availability barrier by 2020 by means of module life extension technology and improved servicing
Oyama City, Tochigi Prefecture; November 15, 2017 – Gigaphoton Inc. (Head Office: Oyama, Tochigi; President & CEO: Katsumi Uranaka), a leading manufacturer of light sources used in semiconductor lithography, announced its intention to draw up a new roadmap with the aim of improving the availability of the equipment, and also to respond to the needs of the semiconductor chip manufacturers who are being confronted with increasingly high demands.
Gigaphoton recently drew up a roadmap titled “RAM Enhancement” to enhance the Reliability, Availability, and Maintainability of the Excimer laser, a DUV light source. The company has already started off on overcoming the “99.8%-availability” barrier by 2020, which is the threshold limit value in the industry.
The availability of lithography tools is a key parameter which has a major impact on manufacturing IC chips. In line with this, maximizing the availability requires “long-term stable operation” and “minimized maintenance time.” To achieve both of the above, Gigaphoton is now striving to extend module lifetime and improve on-site unit serviceability that the company’s field engineers provide to customers, aiming at maintenance with the minimum number of machine stops.
To achieve “long-term stable operation,” the company is now increasing each lifetime of major modules such as the chamber (AMP CH), the line narrow module (LNM), and the monitor module (MM) up to 120 Bpls. As for “minimized maintenance time,” new software which automatically calculates expected unit lifetime and the right time for maintenance is ready to be introduced.
With these efforts, the company are now in the course of reducing the required number of maintenance cycle to only once per year as well as the mean time between module replacement down to half the conventional hours, and also overcoming the barrier of 99.8%-availability on every customer site by 2020. (This is on the assumption that memory chip makers use 60Bpls/year.)
Katsumi Uranaka, President & CEO of Gigaphoton commented, “Along with the increasing demand for semiconductor chips in recent years, the availability of semiconductor manufacturing equipment is becoming increasingly important. The ‘RAM Enhancement’ roadmap which we are promoting was formulated in order to meet these customer needs. From now on as well, Gigaphoton will continue to provide the optimum solutions, while taking into consideration the demands of our customers and also the market trends. ”
About Gigaphoton
Since it was founded in 2000, Gigaphoton has delivered valuable solutions to semiconductor manufacturers throughout the world as a laser supplier. In every stage from R&D to manufacture, sales, and maintenance services, Gigaphoton is committed to providing world-class support delivered from the perspective of everyday users. For more information please visit www.gigaphoton.com.
Media contact:
| Gigaphoton Inc
Corporate Planning Division Katsutomo Terashima TEL: +81-285-37-6931 E-mail: web_info@gigaphoton.com |
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モジュール寿命延長技術とサービス向上で、2020年までに稼働率99.8%の壁を破る
栃木県小山市；2017年11月15日 —半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己）は、装置稼働率向上のための新ロードマップを策定、需要が高まる半導体チップメーカーのニーズに応えていく、と発表しました。
このたびギガフォトンは、 DUV光源であるエキシマレーザーの、信用性（Reliability）・可用性（Availability）・保守性（Maintainability）を強化するロードマップ “RAM Enhancement”を策定しました。業界では限界と言われている“稼働率99.8%の壁”を2020年までに打ち破る取り組みを始めています。
半導体チップの生産において、リソグラフィ工程の稼働率は、大きな影響を与えるパラメータです。そのため装置稼働率を最大化させるためには「長期的な安定稼働」と「メンテナンス時間の最小化」が必要となります。ギガフォトンはこれらの課題を解決するため、モジュールの寿命延長とフィールドエンジニアによる装置のサービス性を向上させ、可能な限り装置を停止させないメンテナンスを実現します。
まず「長期的な安定稼働」のため、最新のArF液浸リソグラフィ装置において、主要モジュールであるチャンバ（AMP CH）、狭帯域化モジュール(LNM)、モニターモジュール（MM）の寿命をそれぞれ120Bplsまで延長させる予定です。次に「メンテナンス時間の最小化」のため、装置の寿命予想やメンテナンスのタイミングを自動的に算出するソフトウェアーを投入します。
これらの取り組みにより、2020年までにはすべての顧客において、必要なメンテナンス回数を年1回に引き下げ、モジュールの交換時間を従来の半分に削減し、稼働率99.8%の壁を打ち破ることが可能となります。（メモリメーカーにおけるパルス使用量を年間60Bplsと仮定した場合）
ギガフォトン代表取締役社長の浦中克己はこうコメントしています。「近年の半導体チップ需要の高さから、半導体製造装置の稼働率はより重要性を増しています。我々が推し進めるロードマップ “RAM Enhancement”は、こうしたお客様のニーズに応えるため策定されました。ギガフォトンは今後もお客様の要望や市場の動向を考慮した、最適な解決策を提供していきます。」
ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。
報道関係者向けの連絡窓口：
| ギガフォトン株式会社
経営企画部 寺嶋克知 TEL: 0285-37-6931 Eメール: web_info@gigaphoton.com
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延长模块寿命、提高服务质量，2020年前打破工作效率99.8%的壁垒
日本栃木县小山市–(BUSINESS WIRE)– (美国商业资讯)–半导体光刻光源的主要供应商Gigaphoton株式会社（母公司：栃木县小山市，董事长：浦中克己）宣布，为提高设备的工作效率，公司将制定新的产品规划图，以应对需求量不断高涨的半导体厂家的要求。
Gigaphoton此次制定的产品规划图“RAM Enhancement”加强了DUV光源受激准分子激光器的可靠性（Reliability）、可用性（Availability）以及可维护性（Maintainability）。公司已经开始行动，将在2020年前打破被业界定位为极限的“工作效率99.8%的壁垒”。
在半导体芯片生产中，光刻工序的工作效率是最大的影响要素。因此，为最大限度地提高设备的工作效率，必须保证“长期稳定的工作”，以及“最短的维修时间”。Gigaphoton为解决这些问题，将延长模块寿命，派遣现场工程师提高设备的服务性能，实现尽可能不停止设备运转的维修。
首先，为保证“长期稳定的工作”，将最新ArF液浸光刻装置的主要模块，包括腔体（AMP CH）、窄带域模块（LNM）、监视模块（MM）的寿命分别延长到120Bpls。其次，为实现“最短的维修时间”，将追加预测装置寿命及自动计算维修时点的软件。 通过这一系列的措施，截止2020年，面向所有客户的必要维修次数将降低到每年一次，模块更换时间减少到原来的一半，可望打破工作效率99.8%的壁垒。（假定内存芯片厂家的脉冲使用量为每年60Bpls。）
Gigaphoton董事长浦中克已评价说：“由于近年来半导体芯片的需求量高，半导体生产设备的工作效率愈发重要。我们推行的产品规划‘RAM Enhancement’就是为满足这样的客户需求而制定的。今后，Gigaphoton也将结合客户需求和市场动向，继续提供最合适的解决方案。”
Gigaphoton公司简介
Gigaphoton公司成立于2000年，作为一家激光器的供应商，自成立以来一直为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。Gigaphoton时刻以客户为中心，从产品研发到生产、销售及维护，为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问：www.gigaphoton.com。
免责声明：本公告之原文版本乃官方授权版本。译文仅供方便了解之用，烦请参照原文，原文版本乃唯一具法律效力之版本。
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新闻媒体专用联系窗口：
Gigaphoton株式会社
经营企划部
寺岛克知
电话： +81-285-37-6931
Source: Gigaphoton Inc.[:ct]
延長模組壽命、提高服務品質，2020年前打破稼動率99.8%的壁壘
日本栃木縣小山市–(BUSINESS WIRE)– (美國商業資訊)–半導體微影光源的主要供應商Gigaphoton株式會社（母公司：栃木縣小山市，社長：浦中克己）宣布，為提高設備的稼動率，公司將制定新的產品規劃藍圖，以因應需求量不斷高漲的半導體廠商的要求。
Gigaphoton此次制定的產品規劃藍圖RAM Enhancement加強了DUV光源準分子雷射器的可靠性（Reliability）、可用性（Availability）以及可維護性（Maintainability）。公司已經開始行動，將在2020年前打破被業界定位為極限的「稼動率99.8%的壁壘」。
在半導體晶片生產中，微影製程的稼動率是最大的影響要素。因此，為最大限度地提高設備的稼動率，必須保證「長期穩定的工作」，以及「最短的維護時間」。Gigaphoton為解決這些問題，將延長模組壽命，派遣現場工程師提高設備的服務效能，實現盡可能不停止設備運轉的維護。
首先，為保證「長期穩定的工作」，將最新ArF浸潤式微影裝置的主要模組，包括腔體（AMP CH）、窄頻模組（LNM）、監控模組（MM）的壽命分別延長到120Bpls。其次，為實現「最短的維護時間」，將追加裝置壽命預測及維護時間點的自動計算軟體。 透過這一系列的措施，截止2020年，所有客戶的必要維護次數將降低到每年一次，模組更換時間減少到原來的一半，可望打破稼動率99.8%的壁壘。（假定記憶體晶片廠商的脈衝使用量為每年60Bpls。）
Gigaphoton社長浦中克已評論指出：「由於近年來半導體晶片的需求量高，半導體生產設備的稼動率愈發重要。我們推行的產品規劃RAM Enhancement就是為滿足這樣的客戶需求而制定的。今後，Gigaphoton也將結合客戶需求和市場動向，繼續提供最合適的解決方案。」
Gigaphoton公司簡介
Gigaphoton公司成立於2000年，作為一家雷射器的供應商，自成立以來一直為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心，從產品研發到生產、銷售及維護，為用戶提供業界最高水準的支援。更為詳細的介紹請您造訪：www.gigaphoton.com。
免責聲明：本公告之原文版本乃官方授權版本。譯文僅供方便瞭解之用，煩請參照原文，原文版本乃唯一具法律效力之版本。
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Source: Gigaphoton Inc.[:kr]
모듈 수명연장 기술 및 서비스 향상으로 2020년까지 가동률99.8%의 벽을 허물다
오야마, 일본–(Business Wire/뉴스와이어) 2017년 11월 15일 — 반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)가 장치 가동률 향상을 위한 새로운 로드맵을 책정하고, 수요가 높아지고 있는 반도체 칩 제조사의 니즈에 대응해 나가겠다고 발표했다.
기가포톤은 이번에 DUV 광원인 엑시머 레이저의 신용성(Reliability)·가용성(Availability)·보수성(Maintainability)을 강화하는 로드맵 “RAM Enhancement”을 책정했다. 업계에서는 한계라고 알려져 있는 “가동률99.8%의 벽”을 2020년까지 허무는 작업에 착수했다.
반도체 칩 생산에 있어서 리소그래피 공정 가동률은 지대한 영향을 주는 파라미터이다.
따라서 장치 가동률을 최대화시키기 위해서는 ‘장기적인 안정 가동’ 및 ‘유지보수 시간의 최소화’가 필요하다. 기가포톤은 이러한 과제들을 해결하기 위해 모듈의 수명연장 및 필드 엔지니어에 의한 장치의 서비스성을 향상시키고, 가능한 한 장치를 정지시키지 않는 유지보수(maintenance)를 실현한다.
우선 ‘장기적인 안정 가동’을 위해 최신 ArF 액침 리소그래피 장치에서 주요 모듈인 챔버(AMP CH), 협대역화 모듈(LNM), 모니터 모듈(MM)의 수명을 각각 120Bpls까지 연장시킨다. 그리고 ‘유지보수 시간의 최소화’를 위해 장치의 수명 예상이나 유지보수 타이밍을 자동으로 산출하는 소프트웨어를 투입한다.
이러한 노력을 통해 2020년까지는 모든 고객이 필요한 유지보수 횟수를 1년에 한 번으로
줄이고, 모듈 교환시간을 종래의 절반으로 삭감하여 가동률 99.8%의 벽을 허물 수 있게 된다(메모리 제조사의 펄스 사용량을 연간 60Bpls로 가정했을 경우).
대표이사 사장 우라나카 카츠미는 “최근 반도체 칩 수요가 높아짐에 따라 반도체 제조 장치의 가동률은 보다 더 중요해졌다. 당사가 추진하는 로드맵 ‘RAM Enhancement’는 그러한 고객의 니즈에 대응하기 위해 책정되었다. 당사는 앞으로도 고객의 요망과 시장 동향을 고려한 최적의 해결책을 제공해 나가겠다”고 말했다.
기가포톤(Gigaphoton) 개요 기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(Welcome to Gigaphoton)에서 확인할 수 있다.
본 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.
언론 연락처
기가포톤주식회사 경영기획부 테라시마 가츠토모
+81-285-37-6931