[:en]

Integrating data from all types of semiconductor manufacturing equipment, and enabling a wide range of analysis and evaluation, it promises to make new contributions to the field

Gigaphoton Inc. (Head office: Oyama City, Tochigi Prefecture. President & CEO: Katsumi Uranaka), a leading manufacturer of lithography light sources has announced the launch of FABSCAPE™, the next generation monitoring solution for semiconductor manufacturing. At the heart of FABSCAPE™ is a truly open platform that is designed to resolve the problem of data ambiguity between multiple vendors. It enables users to manage key performance data from virtually any lithography equipment in a unified manner – facilitating the ability to experience true apples-to-apples comparisons and cover a broader range of analysis.

Its flexible modular architecture also allows users to tailor the feature sets to fit their specific needs by mixing and matching only features that are meaningful to them. User and third parties will also be able to easily create their own plugins and drivers to service their specific needs. Going forward, Gigaphoton will be launching its own visualizer tool and plugins such as a solution for automatically optimizing maintenance schedules across the Lithocell and a series of automated features build on top of an Artificial Intelligence (AI) engine.

In addition to offering its own set of plugins and drivers, Gigaphoton will promote FABSCAPE™ and its revolutionary open platform by offering a rich set of Developer Tools, including a robust Application Programming Interfaces (API), sample code, tutorials, and workshops. Furthermore, Gigaphoton plans to make the FABSCAPE™ platform available online to device manufacturers as well as other equipment manufacturers and third parties interested in participating in a community to build and distribute solutions based on a common, open platform.

“I am extremely pleased to be able to enter the next phase of our software strategy through the release FABSCAPE™,” said Katsumi Uranaka, president and CEO of Gigaphoton. “Making sense of the enormous volumes of data generated by varying semiconductor manufacturing tools continues to be a challenge for our customers. I strongly feel that while it is our mission to continue offering new and innovative software solutions, it is equally important to adequately empower users to quickly and easily develop their own custom solutions for the unique problems they face. I am confident that FABSCAPE™’s bold new open software approach can allow device manufacturers to gain a deeper and more uniform understanding of equipment data and help spark new innovations through collaboration, and partnerships both inside and outside of our traditional industry players, contributing to the further growth of our industry.”

The first edition of FABSCAPE™ will be available in March 2018.

* “FABSCAPE^™” will be introduced at “SPIE Advanced Lithography”, Session 10 (1st March), which will be held in San Jose, California from 25th February to 1st March, 2018.

About Gigaphoton

Since it was founded in 2000, Gigaphoton has delivered valuable solutions to semiconductor manufacturers throughout the world as a laser supplier. In every stage from R&D to manufacture, sales, and maintenance services, Gigaphoton is committed to providing world-class support delivered from the perspective of everyday users. For more information please visit www.gigaphoton.com

Media contact:

[:ja]

あらゆる半導体製造装置のデータを統一化し、広範囲な解析と評価が可能、

業界に新たな貢献

リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己）は半導体露光装置の稼働モニタリングと解析を行う次世代ソリューション「FABSCAPE™」を3月より提供すると発表しました。

多くの半導体メーカーにとって、様々な装置から出力される大量のデータを収集し、解析、活用することは困難な作業であり、かねてより懸案事項でした。ギガフォトンのFABSCAPE™は、メーカーを問わず一律にデータを扱うことを可能にする目的で開発されたオープン・プラットフォームです。FABSCAPE™上にプラグインやドライバーを拡張させることにより、すべての装置のデータを統一化することも可能となり、ユーザーは同一条件でより広範囲に、異なる装置間の重要なパフォーマンス・データの解析と評価ができるようになります。

またFABSCAPE™は、ユーザーが様々な機能のプラグインやドライバーを開発し組み合わせることで、アプリケーションをそれぞれのニーズに合わせて最適化することが可能です。今後ギガフォトンも、ビジュアライザーツールのほか、リソグラフィ装置組（リソセル）単位で自動的にメンテナンススケジュールを最適化するプラグイン、AIエンジンを活用した自動化用プラグインを提供する予定です。

くわえてギガフォトンは、データ統一化のソリューションをともに開発する半導体メーカーや装置メーカー、その他の機関に対してFABSCAPE™をオンラインで提供する予定です。更に、APIやサンプルコード、チュートリアル、ワークショップなど豊富な開発者向けツールを提供し、FABSCAPE™プラットフォームの普及を促進していきます。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの浦中克己氏はこうコメントしています。「我々はサプライヤーとして、お客様の問題を解決することを日々重要なミッションとしていますが、同様に個々のお客様が持つ特有の問題を、お客様自身が素早く簡単に解決できるカスタムソリューションを提供することも重要だと考えています。FABSCAPE™は、お客様が業界内外のパートナーとのコラボレーションを通じて装置のデータをより深く理解し、均一に扱うことができる大胆なオープンソフトウェアです。我々は、FABSCAPE™を橋渡しとしたイノベーションで、業界に新たな貢献ができると確信しています。」

＊「FABSCAPE™」は2018年2月25日～3月1日にカリフォルニア州San Joseで開催される”SPIE Advanced Lithography”の セッション10（3月1日）の中で紹介されます。

ギガフォトンについて

2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。

報道関係者向けの連絡窓口：

[:cs]

凭借统合所有半导体制造设备的数据，实现广范围的解析和评价，进而对行业做出新贡献

光刻主要制造商Gigaphoton株式会社 (总公司：栃木县小山市，董事长社长：浦中克己)宣布，将于3月开始提供下一代解决方案“FABSCAPE™”，以用于半导体曝光设备的运转监测及解析。

对许多半导体制造商来说，收集、解析及活用多种设备所输出的大量数据是一项艰巨的任务，长久以来是一项待解决的课题。Gigaphoton所开发的FABSCAPE™是一开放平台，其目的是为了能统一处理任何制造商的数据而开发的。通过在FABSCAPE™上扩展插件及驱动程序，能实现所有设备数据的统一化，用户可在同样条件下更为广范地解析和评价不同设备之间的重要性能数据。

此外，FABSCAPE™还支持用户通过开发组合各种功能的插件及驱动程序，根据各自的需求实现应用软件的优化。

今后Gigaphoton除了可视化工具之外，还将利用以光刻设备( litho cell)为单位并能自动优化维护日程表的“FABSCAPE™”插件和AI引擎提供自动化专用插件。

除此之外，针对同时开发数据统一化解决方案的半导体制造商、设备制造商及其他机关，Gigaphoton计划在线提供FABSCAPE™。此外，还将提供API、示例代码、教程、研讨会等面向开发者的丰富工具，不断促进FABSCAPE™开放平台的普及。

Gigaphoton的董事长社长兼CEO浦中克己发言表示：“作为一家供应商，解决客户的问题是我们每天重要的任务，但是同时我们也认为，针对不同客户所遇到的特殊问题，提供定制解决方案以供客户自行简单迅速解决问题也是至关重要的。FABSCAPE™是一款大胆的开放式软体，通过与行业内外的合作伙伴共同合作，客户能够更加深入地理解设备的数据，并对其进行统一处理。我们相信，通过将FABSCAPE™作为桥梁的创新，必定能对行业做出新的贡献。”

＊于2018年2月25日～3月1日在加州San Jose举办的“SPIE Advanced Lithography”之Session10（3月1日），将会对“FABSCAPE™”做具体介绍。

Gigaphoton公司成立于2000年，作为一家激光器的供应商，自成立以来一直为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。Gigaphoton时刻以客户为中心，从产品研发到生产、销售及维护，为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问：www.gigaphoton.com。

新闻媒体专用联系窗口：

Gigaphoton株式会社

经营企划部

寺岛克知

电话： +81-285-37-6931

邮箱： web_info@gigaphoton.com

 [:ct]

藉由統合多種半導體製造設備之數據，實現廣範圍之解析和評價，進而對業界帶來新貢獻

微影光源的主要製造商Gigaphoton株式會社 (總公司：栃木縣小山市，社長：浦中克己）宣布，將於3月開始提供下一代解決方案「FABSCAPE™」，運用於半導體曝光設備之運轉監測及解析。

對許多的半導體製造商來說，收集、解析及活用多種設備所產生的大量數據是一項艱鉅的任務，長久以來為一項待解決的課題。Gigaphoton所開發之FABSCAPE™為一開放平台，其目的為可一律的處理任何製造商之數據。藉由在FABSCAPE™上擴張Plugin 及驅動程式，實現所有設備數據之統一化，使用者可在同樣條件下更為廣範圍的解析和評價不同設備間重要之性能數據。

此外，FABSCAPE™對於使用者針對各種機能之Plugin 及驅動程式所做的開發組合搭配，能夠對應其個別需求實現APP之優化。

今後Gigaphoton除了可視化工具之外，也預定提供以微影裝置組( litho cell)為單位，能自動優化定期維護計畫的「AMAX™」Plugin，以及活用 AI Engine之自動化用插件。

除此之外，針對開發數據統一化解決方案的半導體製造商、設備製造商及其他的機關，Gigaphoton預定在線提供FABSCAPE™。另外還將提供API及示例代碼、教程、研討班等適用於開發者之豐富工具，以促進FABSCAPE™開放平台之普及。

Gigaphoton社長兼CEO浦中克己發言如下，「做為一供應商，解決客戶之問題為我們每天重要之任務，但同時我們認為，針對不同客戶所遇到的特殊問題，提供定製化解決方案以供客戶自行簡單迅速解決問題也是十分重要的。FABSCAPE™為一大膽之開放軟體，它能使客戶藉由與業界內外夥伴之共同合作更加理解設備之數據，對其做均一之處理。我們確信FABSCAPE™做為一創新的橋梁，必定能對業界帶來新的貢獻。」

＊2018年2月25日～3月1日在加州San Jose舉辦的“SPIE Advanced Lithography”之 Session10（3月1日），將會對「FABSCAPE™」做介紹。

Gigaphoton公司簡介

Gigaphoton公司成立於2000年，作為一家雷射器的供應商，自成立以來一直為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心，從產品研發到生產、銷售及維護，為用戶提供業界最高水準的支援。更為詳細的介紹請您造訪：www.gigaphoton.com

新聞媒體專用聯絡窗口：

Gigaphoton株式會社

經營企劃部

寺島克知

電話： +81-285-37-6931

電子信箱： web_info@gigaphoton.com

 [:kr]

모든 반도체 제조장치의 데이터를 통일화 하여 광범위한 해석 및 평가 가능,

업계에 새로운 기여

오야마, 일본–(Business Wire/뉴스와이어) 2018년 2월 20일 — 반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)가 반도체 노광장치의 가동을 모니터링하고 해석하는 차세대 솔루션 ‘FABSCAPE™’을 3월부터 제공한다고 발표했다.

다양한 장치로부터 출력되는 대량의 데이터를 수집하고 해석하여 활용하는 것은 어려운 작업이기 때문에 이전부터 많은 반도체 제조업체들이 해결해야 할 현안 사항이었다. 기가포톤의 ‘FABSCAPE™’은 제조업체에 상관없이 일률적으로 데이터를 취급할 수 있도록 하기 위해 개발된 오픈 플랫폼이다. ‘FABSCAPE™’ 위에 플러그인이나 드라이버를 확장 시킴으로써 모든 장치의 데이터를 통일화 하는 것도 가능해져 사용자는 동일 조건에서 보다 광범위하게 다른 장치와의 중요한 퍼포먼스 데이터를 해석하고 평가할 수 있게 된다.

또한 ‘FABSCAPE™’는 사용자가 다양한 기능의 플러그인이나 드라이버를 개발하여 조합함으로써 각각의 니즈에 맞추어 애플리케이션을 최적화할 수 있다.

앞으로 기가포톤도 비주얼라이저 툴(visualizar tool)뿐만 아니라 리소그래피 장치 그룹(Lithocell) 단위로 자동으로 유지보수 스케줄을 최적화하는 플러그인, AI 엔진을 활용한 자동화용 플러그인을 제공할 예정이다.

이에 더하여 기가포톤은 데이터 통일화 솔루션을 함께 개발하는 반도체 제조업체나 장치 제조업체, 기타 기관에 대해 ‘FABSCAPE™’을 온라인으로제공할 예정이다. 뿐만 아니라 API나 샘플코드, 튜토리얼, 워크숍 등 풍부한 개발자용 툴을 제공하여 ‘FABSCAPE™’ 플랫폼 보급을 촉진해 나갈 것이다.

대표이사 사장 우라나카 카츠미는 “당사는 공급업체로서 고객의 문제 해결을 항상 중요한 미션으로 삼고 있지만, 동시에 각각의 고객들이 가진 특유의 문제를 고객 스스로 신속하고 간단하게 해결할 수 있는 커스텀 솔루션을 제공하는 것도 중요하게 인식하고 있다”고 말했다. 이어 “‘FABSCAPE™’는 고객이 업계 안팎의 파트너와의 콜라보레이션을 통해 장치의 데이터를 보다 깊이 이해하고, 균일하게 다룰 수 있는 대담한 오픈 소프트웨어”라며 “기가포톤은 ‘FABSCAPE™’을 매개로 한 이노베이션을 통해 업계에 새로운 기여를 할 수 있을 것으로 확신한다”고 말했다.

＊’FABSCAPE™’은 2018년 2월 25일～3월1일에 캘리포니아주 새너제이(San Jose)에서 개최되는 ”SPIE Advanced Lithography”의 세션10(3월 1일)에서 소개된다.

기가포톤(Gigaphoton) 개요

기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.

언론 연락처

기가포톤주식회사

경영기획부

테라시마 가츠토모

+81-285-37-6931

web_info@gigaphoton.com

 [:]