ネオンガス供給不安にいち早く対処、今年８月発表の新技術「eTGM」で産業界に貢献

 栃木県小山市； 2014年11月25日—リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁）は、本日同社の主要製品である高出力ArF液浸レーザー「GTシリーズ」向けのガス消費量削減技術「eTGM(eco- Total Gas Management system)」を、期限付きで無償提供^（*1）することを決定したと発表しました。

 現在、最先端の半導体製造プロセスで使用されているArF液浸レーザーは、ネオン及びフッ素とアルゴンの混合ガスをレーザーガスとして使用しており、うちバッファガスであるネオンはガス全体の96%以上を占めるため、大量のネオンガスを消費しています。一方で、希ガスであるネオンは、近年より供給減少が懸念されていたことに加え、主な産出国であるウクライナの政情不安、また9月にオデッサ州で起きた洪水などの影響により、供給量は現在制限されており、その価格は上昇する動きを見せています。^（*2）これは世界のネオンガスの主要な消費者である半導体産業にとって大きな懸案事項となっています。

この事態をうけ、ギガフォトンでは、顧客の安定した大量生産をサポートするため、ネオンガス供給への懸念が払しょくされるまで、ネオンガス消費量を最大50%削減できるeTGMの期限付き無償提供を決定いたしました。eTGMは、ギガフォトンが推進するEcoPhoton™プログラムに従って、ネオンガス消費量の大幅削減を実現するために開発された新技術であり、eTGMでレーザーの稼働状況を綿密に監視することにより、ガスの注入量と排気量を自動的に最適化することができます。また、このeTGMを導入することで、レーザーの性能を保ったまま、ネオンガスの使用量を半減することが可能になります。eTGMはArF液浸レーザーにオプションとして提供されますが、既にフィールドで稼働しているレーザーにも組み込むことができます。更に、eTGMを導入することで、レーザーのパドルユニットに新型グリーンモニター機能がアップグレードとして提供されるため、ユーザーは実際の製造環境においてレーザーガス消費量をリアルタイムで監視することができます。

 ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏は、こう述べています。「安定した半導体の大量生産を支えるレーザーメーカーとして、安心できる生産環境の実現をサポートするため、今回の決断に至りました。今後もEcoPhoton™プログラムに則り、地球上の資源を大切にする技術の開発を続けるとともに、半導体産業の安定稼働に貢献していく所存です」。

 (*1)無償提供はネオンガス供給への懸念が払しょくされるまでの間とし、その終了はギガフォトンが決定するものとします。ニュースリリースに記載されている情報は発表時のものであり、予告なしに変更される場合があります。

(*2)当社調査による。

EcoPhoton™プログラムについて

EcoPhoton™プログラムは、環境に優しくユーザーフレンドリーなリソグラフィ光源を提供するために、ギガフォトンが2003年以来策定・実現しているロードマップです。このプログラムでは、レーザーの稼働コスト（Cost of Ownership = CoO）を、消耗部品により発生するコスト（Cost of Consumable = CoC）、ダウンタイムにより発生するコスト（Cost of Downtime=CoD）、環境負荷のコスト（Cost of Environment = CoE）の3種類に分類し、それぞれのコスト要因を詳細に分析、新技術の投入により継続的なコスト低減を目指します。

 eTGMに関する過去のニュースリリース

ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーのための、ユーザーフレンドリーで高性能なDUVレーザー光源を開発・供給してきました。

ギガフォトンは、生産性と費用対効果が重要な大量生産において必要とされる、優れたリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になるよう努力しています。常にエンドユーザのニーズに焦点をあて、研究開発から製造まですべての局面において、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートを目指しています。詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。

 報道関係者向けの連絡窓口：　

Gigaphoton Takes an Immediate Measure Against Supply Uncertainty of Neon Gas with
New “eTGM” Function, Released This August to Support The Industry

OYAMA, JAPAN, November 25, 2014 — Gigaphoton Inc., a major lithography light source manufacturer, today announces the provision of a new function, called “eTGM (eco-Total Gas Management),” for the existing users of its flagship high-output GT Series of ArF immersion laser products free of charge for a fixed period of time ^(*1).

Today, ArF immersion lasers used for leading-edge semiconductor fabrication utilize a mixture of neon, fluorine, and argon gases as a laser gas, with neon gas accounting for more than 96% of the laser gas mixture. Therefore, a fairly large amount of neon gas is consumed to run ArF immersion lasers. However, on top of a recent reduction in supply of neon gas, political uncertainty in Ukraine, one of major Ne production countries, and flooding in Odessa Oblast this September have currently limited the supply of this rare gas, leading to a rise in its price. ^(*2) This may cause a critical challenge to its major user, the world semiconductor industry.

In order to support stable high-volume manufacturing (HVM) of semiconductor devices, Gigaphoton has decided to provide its eTGM function, which allows up to 50% reduction of neon gas consumption, to its ArF immersion laser users free of charge during the time until the supply of neon gas has again reached normal levels. The eTGM function is a new technology developed by Gigaphoton to allow great reduction of neon gas consumption according to its EcoPhoton™ program. It closely monitors the laser running status, thereby allowing the injection amount and discharge amount of laser gas to be optimized. By incorporating the eTGM function into the laser unit, the consumption of neon gas can be cut by half without lowering the laser performance.

The eTGM function is provided as an option for Gigaphoton’s ArF immersion lasers, and can be incorporated into lasers already running in the field. Along with introduction of the eTGM function, a new “green monitoring” function is also provided as an upgrade for the paddle of the laser. This upgrade allows the user to monitor the consumption of laser gas in real time under a production environment.

“In order to support the stable high-volume manufacturing of semiconductor devices, we have decided to provide the eTGM function free of charge to ensure a reliable production environment as a major laser supplier,” commented Hitoshi Tomaru, President and CEO of Gigaphoton, “We are committed to proceeding with our EcoPhoton™ program to make further contributions to greening of the semiconductor industry.”

(*1) The eTGM function shall be provided free of charge until the supply of neon gas has returned to the normal condition; Gigaphoton shall determine the timing of its termination. The information described in this release, while valid at its distribution, may change without prior notice.

(*2) Based on investigation by Gigaphoton. 

About the EcoPhoton™ Program

The EcoPhoton™ program is a roadmap started in 2003 to implement Green Innovations. The focus is on detailed analyses of three key cost-of-ownership (CoO) metrics: cost of consumables (CoC), cost of downtime (CoD), and cost of environment (CoE). The program aims at achieving continuous reduction of these costs by developing innovative green technologies.

About Gigaphoton

Since it was founded in 2000, Gigaphoton has developed and delivered user-friendly, high-performance DUV laser light sources used by major semiconductor manufacturers in the Pan-Asian, US and European regions.

Gigaphoton leads the way with cost-effective, highly productive lithography sources for high-volume production. With a global business outlook, Gigaphoton strives to be the world’s number-one lithography light source provider, focusing on end-user needs in every phase of its business — from research and development to manufacturing, to best-in-class reliability and world-class customer support.

See the previous press release about eTGM.

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