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February 6, 2019
Outstanding achievements in the industry and significant contributions to the Society are recognized
Oyama, Tochigi; February 6, 2019 — GIGAPHOTON Inc. (Head Office: Oyama, Tochigi; President & CEO: Katsumi Uranaka), a manufacturer of light sources used in semiconductor lithography, announced that the International Society for Optics and Photonics (SPIE) has awarded Dr. Akiyoshi Suzuki, Technical Advisor to the Gigaphoton Research Department, the “SPIE Frits Zernike Award in Microlithography”, and elected Dr. Hakaru Mizoguchi, CTO and Vice President, as SPIE Fellow.
The Frits Zernike Award, founded in 2002 by SPIE (a major academic society for lithography technology), is a prestigious award, often spoken of as the “Nobel prize of the lithography world”, and named in honor of Dr. Zernike, who received the Nobel Prize for Physics in 1953 with the phase-contrast microscope, and who has had a major influence on lithography technology. The award is presented only to those who have demonstrated particularly outstanding achievements in the industry, and while there have now been 14 recipients, Dr. Suzuki is the first Japanese winner. The award for Dr. Suzuki honors his achievements over a career of more than 40 years, with contributions made to all manner of technological innovations in optical lithography equipment, including contact exposure machines, 1: 1 scanners, g-line, i-line, KrF steppers, KrF / ArF / immersion scanners, EUV exposure machines, and NIL, and extending from the dawn of the era up to the present day.
Dr. Suzuki offered the following comments: “I think the fact that a person from industry has received an award from the academic association, SPIE, is proof that the lithography technology that we research and develop has a strongly scientific dimension, and that it plays a major role in our challenging high-tech industry. I would like to express my gratitude to all those with whom I have worked. ”
In addition, Gigaphoton Vice President and CTO, Dr. Hakaru Mizoguchi, was elected as a SPIE Fellow – an honor given to persons who have contributed to lithography technology over many years. The title was awarded in acknowledgment of Dr. Mizoguchi’s approximately 30 year record of developing advanced products, ranging from DUV lasers (KrF / ArF / F2) to EUV light sources, and his contribution of over 100 manuscripts supporting this. The election of a Fellow as a light source engineer also represents a world first. Furthermore, with the election of Dr. Mizoguchi, and the inclusion of alumnus, Shinji Okazaki, three of the six Japanese Fellows of the Society involved with lithography now have links to Gigaphoton.
Dr. Mizoguchi commented, “I take my election as Fellow to be an acknowledgement, not simply of my contributions through manuscripts, but of the efforts made by all staff and associates of Gigaphoton in transforming those written ideas into actual products. I would like to share my gratitude with everyone here and thank you once again. I hope to devote myself both to advancing technological development and nurturing the next generation, so as not to discredit the title of Fellow.”
*February 25 – The award ceremony for Dr. Suzuki and Dr. Mizoguchi will take place at “SPIE Welcome and Plenary Presentations”.
*February 28 – Dr. Suzuki and Dr. Mizoguchi will deliver lectures at the “GIGAPHOTON-SPIE Lunch Session”.
＜Dr. Akiyoshi Suzuki＞ ＜Dr. Hakaru Mizoguchi＞
About GIGAPHOTON
Since it was founded in 2000, GIGAPHOTON has delivered valuable solutions to semiconductor manufacturers throughout the world as a laser supplier. In every stage from R&D to manufacture, sales, and maintenance services, GIGAPHOTON is committed to providing world-class support delivered from the perspective of everyday users. For more information please visit www.gigaphoton.com
Media contact:
GIGAPHOTON Inc
Corporate Planning Division
Kenji Takahisa
TEL: +81-285-37-6931
E-mail: web_info@gigaphoton.com[:ja]
2019年2月6日
業界における際立った業績、および学会への多大なる貢献が認められる
栃木県小山市；2019年2月6日 —半導体リソグラフィ光源メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己）は、国際光工学会（The International Society for Optics and Photonics：SPIE）において、ギガフォトン研究部技術アドバイザである鈴木章義氏が”SPIE Frits Zernike Award in Microlithography” を受賞するとともに、副社長兼CTOである溝口計氏がSPIE フェローに選出されたと発表しました。
リソグラフィ技術にとっての主要学会であるSPIEによって2002年に創設されたFrits Zernike Awardは、1953年に位相差顕微鏡でノーベル物理学賞を受賞し、リソグラフィ技術にも多大な影響を与えたZernike博士の名前を冠した「リソグラフィ界のノーベル賞」とも呼ばれる権威ある賞です。同賞は業界の中で特に際立った活躍をした者のみに贈られ、受賞者はこれまでに14名を数えますが、日本人の受賞は鈴木氏が初となります。鈴木氏の受賞は、40年以上のキャリアの中で、コンタクト露光機、1：1スキャナー、g線、i線、KrFステッパー、KrF/ArF/液浸スキャナー、EUV露光機、NILなど、黎明期から現在に至るあらゆる光リソグラフィ装置の技術革新に寄与した業績を称えられたものです。
鈴木氏は次のようにコメントしています。「SPIEという学術団体から産業界の人間がこのような賞をいただけることは、我々が研究開発しているリソグラフィ技術がサイエンスの側面も強く持つ、挑戦的なハイテク産業の一翼を担っている証左であると思います。一緒に仕事をしてきた皆様に感謝いたします。」
さらに、ギガフォトン副社長兼CTOの溝口計氏が、長年に渡ってリソグラフィ技術へ貢献した者に与えられる、SPIEのフェローに選出されました。この称号は、溝口氏のDUVレーザ（KrF/ArF/F2）からEUV光源に至る約30年にわたる先端的な製品開発実績と、それを支える100本以上に及ぶ論文の寄稿が認められて授与されたものです。なお、光源技術者としてのフェロー選出は、世界初の快挙でもあります。また、今回の溝口氏の選出により同学会におけるリソグラフィ関係の日本人フェロー6名のうち、前出の鈴木氏、OBの岡崎信次氏を含む3名がギガフォトン関係者となりました。
溝口氏はこうコメントしています。「今回のフェロー選出は、論文寄稿だけでなく、そこに書かれた技術を現実の製品に結実させた、ギガフォトンや関係者の皆さんの努力への評価だと受け止めております。ここに皆様と喜びを分かちあうと共に、改めて感謝を申し上げます。今後もフェローの名に恥じぬよう、技術開発の推進および後進の育成に専心したいと思います。」
＊2/25 ”SPIE Welcome and Plenary presentations” にて鈴木氏、溝口氏の受賞式が行われます。
＊2/28 “GIGAPHOTON-SPIE Lunch Session”にて鈴木氏、溝口氏の講演が行われます。
＜鈴木章義氏＞
＜溝口計氏＞
ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。
報道関係者向けの連絡窓口：
ギガフォトン株式会社
経営企画部
高久賢次
TEL: 0285-37-6931
Eメール: web_info@gigaphoton.com[:cs]
2019年2月6日
在同行业取得的显著业绩、对学会作出的巨大贡献受到充分肯定
栃木县小山市；2019年2月6日 — 半导体光刻光源制造商GIGAPHOTON株式会社（总部：栃木县小山市、董事长兼总经理：浦中克己）宣布，在国际光学工程学会（The International Society for Optics and Photonics：SPIE）上，GIGAPHOTON的研究部技术顾问铃木章义先生获得“SPIE Frits Zernike Award in Microlithography”奖、副总经理兼CTO沟口计先生当选SPIE研究员。
光刻技术领域的主要学会SPIE于2002年设立了Frits Zernike Award奖，以曾于1953年因位相差显微镜获得诺贝尔物理学奖、给光刻技术带来了巨大影响的Zernike博士的名字命名，是一项很有权威的奖项，可以说是“光刻界的诺贝尔奖”。该奖只颁发给在所属行业作出突出贡献的人员，获奖人员迄今已有14名，但铃木先生是获得该奖的首位
日本人。在40余年的职业生涯中，对于接触式曝光机、1：1扫描仪、g线、i线、KrF步进器、KrF/ArF/液浸扫描仪、EUV曝光机、NIL等，铃木先生对从黎明期到现在所有光刻设备的技术革新方面做出了突出的业绩，此次获奖也是对他本人的充分肯定。
铃木先生作了这样的发言。“产业界的人员能够获得SPIE这一学术团体颁发的奖项，有力地证明了我们正在研发的光刻技术具有很强的科学性，是具有挑战性的高科技产业的一部分。非常感谢与我一起共事的同仁们。”
GIGAPHOTON副总经理兼CTO沟口计先生长期以来为光刻技术作出了重大贡献，被选为SPIE的研究员。在至今约30年的时光里，从DUV激光（KrF/ArF/F2）到EUV光源，沟口先生拥有突出的尖端产品开发业绩，发表了100多篇论文，能够获得这一称号可以说是实至名归。光源技术人员能够当选研究员，这在全世界还是第一次。另外，此次沟口先生的当选，SPIE学会中与光刻相关的日籍研究员共有6名，包括前述的铃木先生、OB的岡崎信次先生在内，有3名人员都与GIGAPHOTON相关。
沟口先生作了这样的发言。“本次能够当选研究员，不光是因为发表论文，还因为是对将论文中的技术变成实实在在的产品、对GIGAPHOTON以及相关人员所付出的努力的充分肯定。在此，我除了要与大家分享快乐外，还要对大家表示衷心感谢。今后我会一心一意地推进技术开发并培养后继人员，决不会让研究员这一称呼蒙羞。”
＊2/25 铃木先生、沟口先生在“SPIE Welcome and Plenary presentations”颁奖仪式上。
＊2/28 铃木先生、沟口先生在“GIGAPHOTON-SPIE Lunch Session”上发表演讲。
＜铃木章义＞ ＜沟口计＞
GIGAPHOTON公司简介
GIGAPHOTON公司成立于2000年，作为一家激光器的供应商，自成立以来一直为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。GIGAPHOTON时刻以客户为中心，从产品研发到生产、销售及维护，为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问：www.gigaphoton.com。
新闻媒体专用联系窗口：
GIGAPHOTON株式会社
经营企划部
高久贤次
电话：0285-37-6931
邮箱：web_info@gigaphoton.com[:ct]
2019年2月6日
肯定兩位於業界締造之傑出成績及對於學會的莫大貢獻
栃木縣小山市；2019年2月6日 — 半導體微影光源製造商Gigaphoton Inc.（總公司：栃木縣小山市；總裁：浦中克己）宣布，現任Gigaphoton研究部技術顧問的鈴木章義先生於國際光電工程學會（The International Society for Optics and Photonics：SPIE）獲頒「SPIE Frits Zernike Award in Microlithography」獎項，以及副總裁兼CTO的溝口計先生獲選為SPIE會士的消息。
微影技術最重要的學會 – SPIE在2002年創設Frits Zernike Award獎項，以曾在1953年因位相差顯微鏡榮獲諾貝爾物理學獎，並對微影技術做出莫大貢獻之Zernike博士的名字命名，是一項相當具有權威的獎項，甚至被譽為「微影業界諾貝爾獎」。該獎項僅頒贈給對於業界貢獻超卓的人士，受獎者至今僅14名，鈴木先生則為首位日本籍受獎者。受獎原因為表彰鈴木先生40年以上的職涯，對於接觸式曝光機、1:1掃描器、g線、i線、KrF步進相機、KrF/ArF/浸潤式掃描器、EUV顯影機、NIL等各種從草創期至今之微影裝置的技術革新具有卓越的貢獻。
鈴木先生發表了以下談話：「身為學術團體的SPIE能將此項榮譽頒贈給產業界人士，我認為正是我輩研發之微影技術具備科學性的一面，並且肩負起挑戰性高科技產業一環的最好證明。本人謹對一路共事的各位深表感謝之意。」
而在此同時，Gigaphoton的副總裁兼CTO溝口計先生也獲選為SPIE會士，此頭銜乃是為多年來對於微影技術具有貢獻的人士而設立。溝口先生由於近30年來從事DUV雷射（KrF/ArF/F2）到EUV光源等尖端產品的開發，成果豐碩，並有超過100篇以上的印證論文投稿，能夠獲選可以說是實至名歸，並且是全球第一位獲選為SPIE會士的光源技術者。由於溝口先生的獲選，包含前述的鈴木先生以及OB岡崎信次先生在內，該學會的6名SPIE會士當中已有3名為Gigaphoton的關係人士。
溝口先生發表了以下談話：「本次獲選為SPIE會士，我體認到這不僅僅是因為投稿論文，更是對於將論文敘述的技術與實際產品結合之各位Gigaphoton關係人士的努力的一大肯定。在此，我謹與各位同喜，並再次感謝各位。今後更將專注於推動技術開發及培育後進，必不辜負SPIE會士的盛名。」
＊2/25 於「SPIE Welcome and Plenary presentations」中進行鈴木先生、溝口先生的頒獎典禮。
＊2/28 於「GIGAPHOTON-SPIE Lunch Session」中，由鈴木先生、溝口先生進行演說。
＜鈴木章義先生＞ ＜溝口計先生＞
GIGAPHOTON公司簡介
GIGAPHOTON公司成立於2000年，作為一家雷射器的供應商，自成立以來一直為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。GIGAPHOTON時刻以客戶為中心，從產品研發到生產、銷售及維護，為用戶提供業界最高水準的支援。更為詳細的介紹請造訪：www.gigaphoton.com
新聞媒體專用聯絡窗口：
GIGAPHOTON株式會社
經營企劃部 高久賢次
電話： +81-285-37-6931
電子信箱： web_info@gigaphoton.com[:kr]
2019년 2월 6일
업계에서의 두드러진 업적 및 학회에 대한 지대한 공헌이 인정됨
토치기현 오야마시; 2019년 2월 6일 —반도체 리소그래피 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 국제 광공학회(The International Society for Optics and Photonics: SPIE)에서 기가포톤 연구부 기술 어드바이저인 스즈키 아키요시 씨가 “SPIE Frits Zernike Award in Microlithography”를 수상하는 동시에 부사장 겸 CTO인 미조구치 하카루씨가 SPIE 펠로우로 선출되었다고 발표했습니다.
리소그래피 기술의 주요 학회인 SPIE에 의해 2002년에 창설된 Frits Zernike Award는 1953년에 위상차 현미경으로 노벨 물리학상을 수상하였고 리소그래피 기술에도 많은 영향을 준 Zernike 박사의 이름을 따 ‘리소그래피계의 노벨상’이라고도 불리는 권위 있는 상입니다. 이 상은 업계에서 특히 두드러진 활약을 한 사람에게만 수여되며, 수상자는 지금까지 14명에 이릅니다만, 일본인이 수상한 것은 스즈키 씨가 처음입니다. 스즈키 씨의 수상은 40년 이상의 경력 속에서 콘택트 노광기, 1:1 스캐너, g선, i선, KrF 스테퍼, KrF/ArF/액침 스캐너, EUV 노광기, NIL 등 여명기부터 현재에 이르는 모든 광 리소그래피 장치의 기술 혁신에 기여한 업적을 인정받은 것입니다.
스즈키 씨는 다음과 같이 말하고 있습니다. ‘SPIE라는 학술 단체에서 산업계 사람이 이런 상을 받을 수 있다는 것은 우리가 연구 개발하고 있는 리소그래피 기술이 사이언스의 측면도 강하게 지닌 도전적인 하이테크 산업의 일익을 담당하고 있다는 증거라고 생각합니다. 함께 일해 온 여러분께 감사드립니다.’
또한 기가포톤 부사장 겸 CTO인 미조구치 하카루 씨가 오랜 세월에 걸쳐 리소그래피 기술에 공헌한 사람에게 주어지는 SPIE의 펠로우로 선출되었습니다. 이 칭호는 미조구치 씨의 DUV 레이저(KrF/ArF/F2)에서 EUV 광원에 이르는 약 30년에 걸친 선단적인 제품 개발 실적과 이를 뒷받침하는 100개 이상에 이르는 논문 기고를 인정받아 수여된 것입니다. 또한 광원 기술자로서의 펠로우 선출은 세계 최초의 쾌거이기도 합니다. 또한 이번 미조구치 씨의 선출로 이 학회에서의 리소그래피 관련 일본인 펠로우 6명 중 앞서 말한 스즈키 씨, OB인 오카자키 신지 씨를 포함해 3명이 기가포톤 관계자입니다.
미조구치 씨는 이렇게 말하고 있습니다. ‘이번의 펠로우 선출은 논문 기고뿐만 아니라 거기에 적힌 기술을 실제 제품에 반영한 기가포톤과 관계자 여러분의 노력에 대한 평가라고 받아들이고 있습니다. 이에 여러분과 기쁨을 나누는 동시에 다시 한번 감사드립니다. 앞으로도 펠로우라는 이름에 부끄럽지 않도록 기술 개발의 추진 및 후진 양성에 전념하겠습니다.’
*2/25 “SPIE Welcome and Plenary presentations”에서 스즈키 씨, 미조구치 씨의 수상식이 거행됩니다.
*2/28 “GIGAPHOTON-SPIE Lunch Session”에서 스즈키 씨, 미조구치 씨의 강연이 진행됩니다.
＜스즈키 아키요시 씨＞ ＜미조구치 하카루 씨＞
기가포톤(Gigaphoton) 개요
기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.
언론 연락처
기가포톤주식회사
경영기획부
타카히사 켄지
+81-285-37-6931
web_info@gigaphoton.com[:]