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February 21, 2020

Equipped with New Technologies to Accelerate a Technological Shift

Oyama, Tochigi; February 21, 2020 — GIGAPHOTON Inc. (Head Office: Oyama, Tochigi; President & CEO: Katsumi Uranaka), a manufacturer of light sources used in semiconductor lithography, has announced that it will add two new models to its ArF and KrF product lineups in 2020. The ArF immersion “GT66A” and the KrF “G60K” light sources will bring the very latest technologies to semiconductor lithography manufacturing.

With an increase in semiconductor applications due to rapidly emerging IoT and AI business growth, semiconductor chips are required to support even faster communication speeds and data process capabilities. Especially in 2020, 5G (5th generation mobile communication) services will be launched for general consumer use, meaning sub-10-nm node compact, high speed, and low power consumption logic ICs as well as large capacity memory chips for storing rapidly increasing amounts of data will be required.

The new GT66A ArF immersion laser is equipped with a newly developed optical module to reduce spatial coherence and improve beam uniformity on the exposed surface. The G60K KrF light source has undergone a full model change for the first time in about 15 years. Power output has been increased by a factor of 1.5x compared to the existing model by introducing a new power supply unit. Gigaphoton supports all chip manufacturers through these new technologies.

Katsumi Uranaka, President & CEO of GIGAPHOTON said, “The growing popularity of products and home appliances incorporating IoT capabilities, together with the addition of AI and 5G, are making it possible to view data in real-time and make equipment and devices smarter in a variety of settings including factories, medical care, automobiles, and social infrastructure. We are excited to contribute to the development of the next generation of the industrial sector with a new product lineup equipped with new technologies.”

 

About GIGAPHOTON

Since it was founded in 2000, GIGAPHOTON has delivered valuable solutions to semiconductor manufacturers throughout the world as a laser supplier. In every stage from R&D to manufacture, sales, and maintenance services, GIGAPHOTON is committed to providing world-class support delivered from the perspective of everyday users. For more information please visit www.gigaphoton.com

 
Media contact:
GIGAPHOTON Inc
Corporate Planning Division
Kenji Takahisa
TEL: +81-285-37-6931
E-mail: web_info@gigaphoton.com[:ja]

2020年2月21日

テクノロジーシフトを加速する新技術を搭載

   栃木県小山市; 2020年2月21日 —半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己）は、2020年、新技術を採用した最新半導体製造リソグラフィ用光源、ArF液浸用レーザー「GT66A」とKrFレーザー「G60K」の2機種を、新製品としてラインナップすると発表しました。

   近年のIoTの普及やAIの実用化による半導体用途拡大に伴い、半導体チップには通信速度のさらなる高速化とより大量のデータ処理が求められています。特に2020年は5G（第5世代移動通信）の一般向けサービスが開始され、サブ10nmノードの小型・高速・低消費電力のロジックICや、爆発的に増加するデータを保存する大容量メモリチップが必要となります。
   新型ArF液浸用レーザー「GT66A」は、新開発の光学モジュールを搭載することで空間的なコヒーレンスを低減し、露光面でのビーム均一性を改善することに成功しました。新型KrF用レーザー「G60K」は、約15年ぶりにフルモデルチェンジをし、新型電源ユニットを導入することで、従来比1.5倍の出力を可能にしました。これらの新技術によりギガフォトンはチップメーカーをサポートします。

   ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの浦中克己氏は、こう述べています。「IoTを取り込んだ産業機器や家電の普及、さらにはAIや5Gが加わることにより工場、医療、自動車、社会インフラ等の多様な場面で、リアルタイム化とスマート化が同時に進んでいます。我々は、新技術を搭載した新製品ラインナップで、次世代の産業界の発展に貢献していきます。」

 

ギガフォトンについて

2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。

 
報道関係者向けの連絡窓口：
ギガフォトン株式会社
経営企画部
高久賢次
TEL: 0285-37-6931
Eメール: web_info@gigaphoton.com[:cs]

2020年2月21日

配备加快技术转移的新技术

栃木县小山市；2020年2月21日 — 半导体光刻光源制造商GIGAPHOTON株式会社（总部：栃木县小山市、董事长兼总经理：浦中克己）宣布，2020年将增加全新产品，其中包括采用新技术的最新半导体制造光刻光源ArF浸没式激光器“GT66A”以及KrF激光器“G60K”这2种机型。

随着近年来IoT的普及以及AI的实际运用，半导体用途不断扩大，从而要求半导体芯片需要进一步加快通信速度，实现更大数量的数据处理。尤其在2020年，5G（第5代移动通信）开始面向普通人群提供服务，因此需要10nm以下节点的小型、高速、低功耗逻辑IC以及用于存储爆炸性增长数据的大容量存储芯片。
新型ArF浸没式激光器“GT66A”配备了新开发的光学模块，成功降低了空间相干，并改善了曝光面的光束均匀性。新型KrF用激光器“G60K”进行了时隔约15年的全型号变更，通过引进新型电源单元，实现了以往1.5倍的输出。Gigaphoton通过这些新技术为芯片制造商提供支持。

Gigaphoton董事长兼总经理浦中克己表示：“随着引进IoT的产业设备及家电的普及，配合AI与5G，同时推动工厂、医疗、汽车、社会基础设施等多个领域的实时化以及智能化。我们将通过配备新技术的新产品线，为新一代产业界的发展做出贡献。”

 

GIGAPHOTON公司简介

GIGAPHOTON公司成立于2000年，作为一家激光器的供应商，自成立以来一直为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。GIGAPHOTON时刻以客户为中心，从产品研发到生产、销售及维护，为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问：www.gigaphoton.com。

 
新闻媒体专用联系窗口：
GIGAPHOTON株式会社
经营企划部
高久贤次
电话：+81-285-37-6931
邮箱：web_info@gigaphoton.com[:ct]

2020年2月21日

配備能加速技術轉換的新技術

栃木縣小山市；2020年2月21日 — 半導體微影光源製造商Gigaphoton株式會社（總公司: 栃木縣小山市；總裁：浦中克己）發表了，2020年將增加全新產品，其中包括採用新技術之最新半導體製造光刻用光源ArF液浸用雷射器「GT66A」及KrF雷射器「G60K」2款產品。

近年來，由於IoT技術普及和AI技術實用化，導致半導體用途不斷增加，使得半導體晶片在通訊速度及數據處理量上的需求也跟著水漲船高，特別是在2020年，開始提供民用服務的5G（第五代行動通訊技術）網路技術中，低於10nm節點之小型、高速、低耗能的邏輯積體電路，以及足以儲存暴增數據量的大容量記憶體晶片，皆是不可或缺的元件。
新型ArF液浸用雷射器「GT66A」在配備新開發之光學模組後，成功降低空間同調的發生，並改善了曝光面之光束均勻度。新型KrF雷射器「G60K」則是在睽違約15年後，首次進行全面性修改，在引進新型電源元件後，成功讓功率較以往提升1.5倍。GIGAPHOTON也將運用這些新技術，來為晶片製造商提供各種協助。

Gigaphoton總裁兼執行長浦中克己表示：「由於引進IoT技術之產業機器和家電日益普及、再加上AI和5G技術，因此工廠、醫療、汽車、社會基礎設施等各項領域，都朝著即時及智能化的目標，不斷邁進。我們也將透過推出各種新技術之產品，來為新世代產業界發展做出貢獻。」

 

GIGAPHOTON公司簡介

GIGAPHOTON公司成立於2000年，作為一家雷射器的供應商，自成立以來一直為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。GIGAPHOTON時刻以客戶為中心，從產品研發到生產、銷售及維護，為用戶提供業界最高水準的支援。更為詳細的介紹請造訪：www.gigaphoton.com

 
新聞媒體專用聯絡窗口：
GIGAPHOTON株式會社
經營企劃部 高久賢次
電話： +81-285-37-6931
電子信箱： web_info@gigaphoton.com[:kr]

2020년 2월 21일

테크놀로지 시프트를 가속시키는 신기술을 탑재

토치기현 오야마시; 2020년 2월 21일 —반도체 리소그래피 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 2020년 신기술을 채택한 최신 반도체 제조 리소그래피용 광원, ArF 액침용 레이저 ‘GT66A’와 KrF 레이저 ‘G60K’의 2기종을 신제품으로 라인업한다고 발표했습니다.

최근 IoT 보급과 AI의 실용화로 반도체 용도가 확대됨에 따라 반도체 칩에는 통신 속도의 고속화와 더 많은 양의 데이터 처리가 요구되고 있습니다. 특히 2020년에는 5G(제5세대 이동 통신)의 일반용 서비스가 확대되고, 서브10 회로 선폭으로 소형ㆍ고속ㆍ저소비 전력의 논리 IC 및 폭발적으로 증가하는 데이터를 저장할 대용량 메모리 칩이 필요하게 됩니다.
신형 ArF 액침용 레이저 ‘GT66A’는 새로 개발된 광학 모듈을 탑재하여 공간적인 코히런스를 저감하여 노광면에서의 빔 균일성을 개선하는 데 성공했습니다. 신형 KrF용 레이저 ‘G60K’는 약 15년 만에 풀 모델 체인지가 이루어지고 신형 전원 유닛을 도입하여 기존 대비 1.5배의 출력이 가능해졌습니다. 이러한 신기술을 통해 기가포톤은 칩 제조업체를 지원합니다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO인 우라나카 카츠미 씨는 이렇게 말하고 있습니다. ‘IoT를 도입한 산업 기기와 가전 제품의 보급, 나아가서는 AI와 5G가 가세하여 공장, 의료, 자동차, 사회 인프라 등의 다양한 장면에서 실시간화와 스마트화가 동시에 진행되고 있습니다. 우리는 신기술을 탑재한 신제품 라인업으로 차세대 산업계 발전에 공헌해 나가겠습니다.’

 

기가포톤(Gigaphoton) 개요

기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.

 
언론 연락처
기가포톤주식회사
경영기획부
타카히사 켄지
+81-285-37-6931
web_info@gigaphoton.com[:]