ImportanceofLightImportanceofLight
Chips are Made with Light
냉장고에서 휴대폰에 이르기까지 오늘날 거의 모든 전자제품은 반도체 칩에 의존하고 있습니다. 이 칩들은 엑시머 레이저라고 불리는 매우 특별한 종류의 빛에 의존하는 복잡한 제조 공정에 의해 만들어집니다. Gigaphoton은 오늘날 반도체 제조업체에 이러한 종류의 빛을 제공하는 장비를 공급하는 세계 최초의 기업 중 하나입니다. 엑시머 레이저가 없었다면, 거의 모든 전자 제품을 움직이는 모든 칩은 오늘날 존재하지 않을 것입니다.
마치 영화 사진처럼
칩을 만드는 과정은 옛날 필름 사진술 시대에 피큐터를 개발하기 위해 사용된 과정과 매우 유사합니다. 사실 이 과정은 "포토리소그래피"라고 불리기도 합니다. 기본 아이디어는 빛을 사용하여 이미지 패턴을 감광성 물질로 변환하는 것입니다. 사진술에서 이미지 패턴은 필름 음극이고 사진 감응 물질은 포토 페이퍼입니다.
사진 석판술
포토리소그래피 또는 간단히 리소그래피에서, 칩 회로와 광감응 물질의 상세한 패턴을 포함하는 마스크라고 불리는 투명한 판 위의 이미지 패턴은 웨이퍼라고 불리는 매우 매끄러운 실리콘 디스크입니다.하지만 일반 빛을 이용해서 칩을 만들 수는 없습니다. 여러분은 특별한 종류의 빛이 필요합니다.
레이저 광선
레이저의 이름은 '방사선의 자극에 의한 빛의 증폭'에서 따온 것으로, 공진기를 이용하여 빛을 증폭시켜 얻은 인공광으로 이루어져 있습니다. 레이저빔은 방향성과 수렴성이 우수하고 파장을 일정하게 유지할 수 있는 능력 등의 물리적 특성을 가지며, 부가가치가 높은 첨단 처리 애플리케이션에 사용됩니다.
엑시머 레이저
엑시머 레이저란?
엑시머란 분자 원소가 매우 들뜨고 불안정한 상태에 있는 상태를 말합니다. 일반적으로, 원자와 분자는 특정한 에너지를 가지고 움직입니다. 만약 그들이 외부로부터 여분의 에너지를 받는다면, 이 원자와 분자들은 더 높은 에너지로 움직입니다.이것을 '들뜬 상태'이라고 합니다. 잠시 후, 원자와 분자는 이 여분의 에너지를 방출하고 정상적인 에너지 상태로 돌아갑니다. 이런 일이 일어날 때, 방출된 에너지는 빛으로 변환됩니다. 이 과정은 "자발적 방출"이라고 불립니다. 이 빛이 높은 에너지를 가진 다른 원자 및 분자와 충돌할 때, 동일한 성질을 가진 빛이 방출됩니다. 이것은 "자극 방출"이라고 불립니다.