IC 패키지 기술 연구용으로 가공 용도용 엑시머 레이저 ‘G300K’가 채택된다

토치기현 오야마시; 2022년 2월 16일 – 반도체 리소그래피 광원의 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 가공 용도용 KrF 엑시머 레이저 ‘G300K’가 대만의 국가 실험 연구원의 프로젝트에 채택되어 12/27, 국립 성공 대학에 납품했다고 발표했습니다.

대만의 국가 실험 연구원(NARLabos)의 참여 기관인 국립 성공 대학에서는 국가 프로젝트로 엑시머 레이저를 사용한 IC 패키징 기술에 관한 연구를 진행하고 있습니다. 이번 채택은 미세 어블레이션을 비롯한 ‘가공의 최적화’를 콘셉트로 개발된 기가포톤의 KrF 레이저 ‘G300K’가 이 연구에 최적이라고 판단하여 실현되었습니다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO 우라나카 카츠미 씨는 이렇게 말하고 있습니다. ‘반도체 리소그래피 이외의 분야에서 전개되는 GIGANEX 시리즈의 G300K는 기가포톤이 오랜 기간 쌓은 99% 이상의 고가동률, 고출력을 실현하고 있는 리소그래피용 광원 기술을 기반으로 개발하고 있으며, 이번 프로젝트에 공헌할 것으로 확신하고 있습니다. 폭넓은 고객에게 솔루션을 제공할 수 있는 GIGANEX 시리즈가 앞으로도 새로운 애플리케이션에 적용되어 차세대 산업계 발전에 공헌할 것을 기대하고 있습니다.’

제품 G300K

기가포톤(Gigaphoton) 개요
기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 서포트를 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.