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반도체 수요 급증에 대응하는 최신 기술로 생산성을 향상



2021년 10월 27일 화요일



토치기현 오야마시:&nbsp; 2021년 10월 26일, 반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 최첨단 ArF 액침 리소그래피 광원 ‘GT66A’가 세계 반도체 제조업체에서 본격적으로 가동하고 있다고 발표했습니다.



최근 디지털 기기나 클라우드 설비가 세계적 규모로 급속하게 증가하면서 이들에 사용되는 반도체 수요도 급격히 증가하고 있습니다. 또한 기업에서의 DX 확산, 탄소 중립 사회를 목표로 한 EV 증산, 재생 가능 에너지에 대한 시프트 체인지 등 사회 인프라의 중추를 반도체가 담당하는 가운데 그 수요는 더욱 가속하고 있습니다. 특히 자동 운전 및 하이 퍼포먼스 서버와 같이 고속 계산과 저소비 전력을 겸비한 하이엔드 디바이스 수요의 증가는 이 상황에 박차를 가하고 있습니다.



GT66A는 그와 같은 하이엔드 디바이스용 반도체가 필요로 하는 5nm 노드 및 차세대 노드 제조에도 대응하고 있는 모델입니다.



또한 GT66A는 스펙클 콘트라스트를 저감(30%)하여 레이아웃과 레지스트 노광의 패턴이 어긋나는 EPE를 저감했습니다. 이를 통해 벽면 미세 패턴의 요철 크기를 나타내는 LER 및 요철로 발생하는 패턴 폭의 편차를 나타내는 LWR을 억제하여 일드(수율) 향상을 기대할 수 있습니다. 이에 더해 고내구성 부품의 도입에 따라 유지 보수 사이클을 30% 연장하여 장치의 가동률을 향상함으로 인해 고도의 생산성 실현도 가능해졌습니다.



기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO 우라나카 카츠미 씨는 이렇게 말하였습니다. ‘GT66A는 최첨단 반도체의 안정적이고 수율이 좋은 생산을 목표로 특히 최첨단 프로세스 노드의 생산성 향상을 위해 시장에 투입되었습니다. 기가포톤은 모든 반도체 공장의 생산성 최대화를 위해 앞으로도 계속 노력하겠습니다.’



기가포톤에 대해 기가포톤은 리소그래피용 DUV 광원의 개발과 제조 선도 기업으로서 설립 당초부터 최첨단 기술을 구사한 많은 솔루션을 세계 반도체 제조업체에 제공하고 있습니다. 또한 EUV 광원 개발에도 힘쓰고 있습니다. 기가포톤은 연구 개발부터 제조ㆍ판매ㆍ보수 서비스까지 풍부한 지식을 가진 전문가 집단으로서 항상 사용자 눈높이에 선 업계 최고 수준의 서포트를 계속 제공해 나가겠습니다. 자세한 내용은 <a href="https://www.gigaphoton.com/kr/">www.gigaphoton.com</a>을 참조해 주십시오.



언론 연락처 기가포톤주식회사 경영기획부 오오이시 켄지 <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com">web_info@gigaphoton.com</a>

최첨단 ArF 액침 리소그래피 광원 ‘GT66A’가 본격 가동

<h5 class="wp-block-heading">기존보다 2배 높은 생산 능력으로 대폭 증가한 시장 수요에 부응</h5>



2021년 9월 15일



토치기현 오야마시; 2021년 9월 15일, 반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 <a href="https://gigaphoton.com">기가포톤 주식회사</a>(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 2023년까지 엑시머 레이저 광원의 생산 능력을 기존의 2배로 증강하겠다고 발표했습니다.



최근 세계적으로 반도체 수요가 대폭 증가하면서 각국의 주요 반도체 제조업체에서는 반도체 제조 장치에 투자를 가속화하고 있습니다. 반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤에서도 시장의 요구가 증가하고 있어 수요는 앞으로도 견조세를 보일 것으로 예상됩니다.



기가포톤에서는 이러한 수요 증가에 대응하고 보다 안정적으로 공급 체제를 구축하기 위해 2022년 4월 완공을 목표로 신사옥을 짓고, 생산 설비의 최대 활용화 및 생산 공정의 효율화·최적화를 도모하면서 생산 능력을 2배로 증강할 것입니다.



기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO 우라나카 카츠미 씨는 다음과 같이 말하였습니다. “전 세계적으로 반도체 수요가 높아지는 가운데, 당사도 고객의 수요에 전력으로 부응하고자 합니다. 올해는 기존의 리소스를 풀가동하여 생산을 실시하면서 생산 계획 및 리드 타임을 효율화해 나갈 것입니다. 내년에는 신사옥이 완공되어 더욱 안정된 공급 체제가 마련됩니다. 반도체 제조에 꼭 필요한 리소그래피용 광원 제조업체로서 앞으로도 책임감을 가지고 제품 공급 및 서비스 지원을 통해 산업계에 공헌해 나가겠습니다.”



기가포톤(Gigaphoton) 개요



기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 서포트를 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(<a href="https://www.gigaphoton.com/kr/">www.gigaphoton.com)에</a>서 확인할 수 있다.



언론 연락처 기가포톤주식회사 경영기획부



타카히사 켄지

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최첨단 ArF 액침 리소그래피 광원 ‘GT66A’가 본격 가동

기가포톤, 엑시머 레이저 광원 생산 능력 증강