支持 65nm 或更新技术节点的新产品－－4 kHz ArF 准分子激光机品
本装置为世界首创采用注入锁定技术的曝光装置用光源机型，让以往认为两难的狭隘光谱与高输出功率得以并存。且因发射低峰值脉冲能量减轻对光学系统的伤害，所控制的运行成本达到业界顶尖等级。此外，除搭载新开发的高级自我诊断功能（self diagnosis）外，还大幅改善模块更换性等服务性，达成高可靠性、高劳动效率。ます。
GT40A的特色
注入锁定（Injection-locked）激射
领先业界首次将注入锁定技术(*)引进量产机型，可达 45 W 的高输出功率，能高稳定发射半宽度达 0.2 pm、E95 达 0.5 pm 的光谱线宽 DUV 激射光，为业界顶级水平。并且实现了低峰值脉冲能量，减轻了对激射以及曝光装置光学系统的伤害。
| 注入锁定技术是将调整为极窄光谱宽度发射的低功率激射光（Master），注入高输出功率的激射共振器（Amplifier），经过激射共振增幅，令以往认为难以同时实现的狭隘频谱与高输出功率得以并存的技术。 |
业界顶级的低运行成本
注入锁定技术能减少对激射光学零件的负担，更因系统结构精致化，大幅减低耗材（模块）的种类及更换频率。以结果而言，实现了业界顶级的低运行成本。ストを実現しています。
高可靠性、高运转性设计
除了新开发的高级自我诊断功能（self diagnosis）外，更大幅改善模块更换性等服务性，达到半导体工厂所需的高可靠性、高劳动效率。
主要规格
| 规格项目 | 值* |
|---|---|
| 长 | 193 nm |
| 平均输出功率 | 45 W |
| 脉冲能量 | 11.25 mj |
| 发射频率 | 4,000 Hz |
| 光谱线宽（FWHM） | 0.2 pm |
| 光谱幅度（以 95 %能量累计，E95） | 0.5 pm |
