従来の150%の高出力を実現し、将来のさらなる出力要求に対応するKrF露光用光源
ギガフォトンの長年の技術と経験の蓄積を踏襲した製品であるKrF光源技術をベースに、スキャナースループット300枚/h以上に対応するKrF露光用光源G60Kは、従来比150%出力を可能にし、さらに、モジュール寿命を最大200%延命することで、アベイラビリティの改善を提供します。また、新規開発の電源とモジュールにより、将来の高出力化に備えた高周波数化などの性能向上にも対応する拡張性を兼ね備えており、今後のKrF露光技術の要求にも対応します。また、ヘリウムフリー技術も標準搭載で、ユーティリティの消費量削減にも貢献します。
主な特長
スキャナースループット300枚/h対応高出力化
新型電源ユニットを導入することで、従来比150%となる60Wの出力を可能にしました。これにより、厚膜レジスト等の低感度レジストにおいてもスループットロスを抑え、かつさらなる生産性向上に貢献します。
既に実績のある99.9%以上のアベイラビリティ対応技術の踏襲
フィールドでの高いアベイラビリティや性能の安定性においてお客様から高い評価を得ているモデル、G41Kの技術をベースに、全ての出力域で99.9%以上のアベイラビリティを実現します。さらに、新技術を投入することでモジュール寿命を200%延長し、アベイラビリティ向上を提供します。
サステナビリティソリューションの提供
ヘリウムフリー技術の標準装備で、希ガスの供給不足リスクに備えるほか、ユーティリティの消費量削減技術により環境にも配慮した光源です。
主な仕様
| 項目 | 値* |
|---|---|
| 発振波長 | 248 nm |
| 出力 | 40W – 60W |
| パルスエネルギー | 10mJ – 15mJ |
| 発振周波数 | 4000Hz |
| 特徴 | Continuous Reliability Improvement (CRI) Package サステナビリティソリューション ・Helium Free Operation ・TGM Gas Management |
