450mm 웨이퍼ㆍ멀티 패터닝 노광장치 대응 첨단 ArF 엑시머 레이저
GT64A는 120W의 세계 최고 수준의 대출력과 높은 광성능ㆍ안정성을, ‘환경 부하 경감’을 콘셉트로 극한까지 억제한 총 운용 비용으로 실현했습니다.
고객의 반도체 양산 체제를 뒷받침하기 위해, 성능과 효율의 최대화를 목표로 개발된 GT64A는 인젝션 락 방식을 채용한 GT 플랫폼의 6세대째에 해당합니다.
GT 플랫폼의 우수한 트윈 체임버ㆍ아키텍처, 출력 컨트롤 알고리즘과 빔 얼라이먼트 기술을 계승하여, 120W의 대출력, 높은 광성능ㆍ안정성을 달성하는 동시에, 세계 최정상급의 신뢰성, 복구 시간과 모듈 수명을 제공. 고객의 더욱 강해진 ArF 엑시머 레이저에 대한 장치 성능 향상, 총 운영 비용 절감에 대한 요구에 부응합니다.
특징
세계 최고 수준의 효율과 120W의 대출력
GT64A는 인젝션 락 방식의 채용으로 달성된 세계 최고 수준의 레이저 발진 효율을 바탕으로, 450mm 웨이퍼ㆍ멀티 패터닝 노광에서도 높은 처리율(throughput)을 약속하는 120W의 대출력을 실현합니다.
출력의 자동 가변
출력의 자동 가변에도 대응하고 있으므로, 고객의 프로세스에 따른 최적의 광량을 공급할 수 있습니다. 또한 본 기능은 불필요한 빛의 발생을 방지할 수 있으므로, 운영 비용의 절감ㆍ환경 부하의 경감에도 효과를 발휘합니다.
높은 레이저 빔 안정성
멀티 패터닝 노광에서 보다 중요한 높은 패턴 중첩 정밀도(오버레이)의 실현, 임계 치수의 제어, 그리고 선폭 모서리 거칠기의 저감을 위해, 모든 출력 영역에 걸쳐 고안정성(에너지, 스펙트럼, 빔 형상)과 긴 펄스 폭을 달성하고 있습니다.
낮은 환경 부하
개발 콘셉트를 ‘환경 부하 경감’으로 설정하여 전기, 가스, 냉각 자원의 설비 비용을 극한까지 억제하는 데 성공. 총 운영 비용의 절감과 함께 사회적인 추세이기도 한 환경에 미치는 부정적인 영향을 억제하고 있습니다.
주 사양
| 사양 항목 | 값* |
|---|---|
| 발진 파장 | 193 nm |
| 평균 출력 | 60 – 120 W |
| 펄스 에너지 | 10.0 – 20.0 mJ |
| 발진 주파수 | 6,000 Hz |
| 스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) | 0.25 pm |
