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ギガフォトンが、VLSI Research社のThe Best Supplier in WFE Subsystemsアワードを受賞し、



同社のwebサイト上にて紹介されました。



ぜひご一読ください。



<a href="https://www.vlsiresearch.com/gigaphoton-honored-with-first-the-best-award-PFEL1SE1000WJOJ#page1">リンクはこちらをクリック</a>



<a href="https://news.mynavi.jp/article/20210521-1891736/">マイナビニュースにも紹介されています。</a>

VLSI Research社のThe Best Supplier in WFE Subsystemsアワード受賞しました

NEDOのプロジェクト「「高輝度・高効率次世代レーザー技術開発」にギガフォトンが参画しています。その成果が、NEDOよりニュースリリースされました。
是非ご一読ください。
こちらをクリック⇩
<h1><a href="https://jpn01.safelinks.protection.outlook.com/?url=https%3A%2F%2Fwww.nedo.go.jp%2Fnews%2Fpress%2FAA5_101408.html&amp;data=04%7C01%7Cchieko_muramatsu%40global.komatsu%7C9aa7f8ac1a414e3eb1fe08d8d4ac8388%7C58be868866254e5280d8c17f3a9ae08a%7C1%7C0%7C637493184690616842%7CUnknown%7CTWFpbGZsb3d8eyJWIjoiMC4wLjAwMDAiLCJQIjoiV2luMzIiLCJBTiI6Ik1haWwiLCJXVCI6Mn0%3D%7C1000&amp;sdata=ClNtDGDk6gmkXtgQuFkSTuRulsJxPPp%2BV2nnip%2B3IPU%3D&amp;reserved=0">NEDOの事業成果を集約したプラットフォームを構築</a></h1>

NEDO（国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構）のニュースリリースのご紹介

2021年2月15日



2月13日に発生しました、福島県沖を震源地とする地震により、被災されたみなさまへ、心よりお見舞い申し上げます。また一日も早い復旧復興をお祈り申し上げます。



現時点におきまして、当社では震災による人命、建物、生産設備、保管製品、調達部品、物流、情報システム等への被害、影響はございません。



代表取締役社長 浦中　克己



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table><tbody><tr><td>報道関係者向けの連絡窓口 ギガフォトン株式会社 経営企画部 高久　賢次 TEL: 0285-37-6931 Eメール: web_info@gigaphoton.com</td></tr></tbody></table></figure>

福島県沖地震による当社への影響に関するお知らせ

ギガフォトンは、2月22日(日)～2月26日(木)（アメリカ時間）に開催される「<a href="https://spie.org/search?term=gigaphoton&amp;pageSize=25&amp;pagesVisited=1&amp;sortBy=Relevance&amp;eventName=Advanced_Lithography">SPIE Advanced Lithography 2021</a>」（web開催）において、次の論文発表を行います。



この学会は、先端半導体の製造を担うリソグラフィ技術に関する、世界最大のイベントです。



弊社では、回路形成から基盤加工まで、多岐にわたる先端光源技術により生産歩留まりや稼働率を大きく改善するトピックスを以下の8件紹介する予定です。



<ul class="wp-block-list"><li>プレゼンテーション発表</li></ul>



February 25, 2021 • 10:50 AM PST | Session 11: EUV Source [Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII] Update of &gt;300W High Power LPP-EUV Source Challenge III for Semiconductor HVM &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; Author: Hakaru Mizoguchi; Gigaphoton Inc. (Japan) [Paper#: 11609-48]



February 24, 2021 • 9:40 AM PST | Session 4: Lithography Equipment and New Applications [Optical Lithography XXXIV] Latest ArF light source with speckle reduction technology for immersion lithography improving chip yield&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; Author: Hirotaka Miyamoto; Gigaphoton Inc. (Japan) [Paper#: 11613-11]



February 25, 2021 • 8:50 AM PST | Session 8: Novel Optical and ebeam/ion [Novel Patterning Technologies 2021] Processability of organic material for semiconductor packaging by 248 nm excimer laser&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; Author: Akira Suwa; Gigaphoton Inc. (Japan) [Paper#: 11610-27]



<ul class="wp-block-list"><li>ポスター発表</li></ul>



February 24, 2021 • 5:30 PM PST | Poster Session [Optical Lithography XXXIV] ArF lightsource “GT66A” for next-generation immersion lithography enhancing EPE and CD performance &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; Author: Tommy Oga; Gigaphoton Inc. (Japan) [Paper#: 11613-30]



February 24, 2021 • 5:30 PM PST | Poster Session [Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV] Study of further CD and OL performance improvement by introducing new E95% spectral bandwidth and Wavelength functionality for ArFi lithography lightsource&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; Author: Tommy Oga; Gigaphoton Inc. (Japan) [Paper#: 11611-92]



February 24, 2021 • 5:30 PM PST | Poster Session [Optical Lithography XXXIV] Advanced spectral engineering: A new way of process aware laser spectra optimization for optical lithography&nbsp;&nbsp; Author: Koichi Fujii; Gigaphoton Inc. (Japan) [Paper#: 11613-33]



February 24, 2021 • 5:30 PM PST | Poster Session [Optical Lithography XXXIV] Lithocell availability improvement through light source maintenance cycle improvement and optimization and its availability impact analysis for cutting-edge ArFi Light source&nbsp;&nbsp;&nbsp; Author: Takehiko Tomonaga; Gigaphoton Inc. (Japan) [Paper#: 11613-29]



February 24, 2021 • 5:30 PM PST | Poster Session [Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII] The development progress of the High Power LPP-EUV light source using a magnetic field Author: Hirokazu Hosoda; Gigaphoton Inc. (Japan) [Paper#: 11609-52]

SPIE Advanced Lithography 2021での論文発表予定

2020年12月22日、ギガフォトンは20周年事業の一環である地域貢献を目的に、ウィルス感染予防用のアルコール自動噴霧器を小山市の全小中学校へ寄付しました。アルコール自動噴霧器は、12月22日～24日の間にギガフォトン社員が市内36校を訪問・設置しました。各校からは「生徒達の感染防止に大いに役立ち、大変有難いです。」等の感謝の声を多く頂き、また小山市長からも感謝状が授与されました。



ギガフォトンは今後も、お客様や業界の発展のみならず、地域の皆様の健康・生活に貢献する企業として尽力していきます。



<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter"><img decoding="async" src="https://www.gigaphoton.com/wp-content/uploads/2021/01/8fa0d593c50be4eb8f339a14ae0233bd-300x210.gif" alt="" class="wp-image-6722"/></figure></div>



＜感謝状授与式の様子　市長公室にて＞

ギガフォトン、アルコール噴霧器を小中学校へ寄付

1月13日、新型コロナウイルスが全国へ拡大することを避けるため、日本政府は緊急事態宣言の対象地域を、ギガフォトン本社がある栃木県を含む7都道府県に広げました（1月14日から2月7日まで）。



しかしながら当社は「緊急事態宣言下においても事業継続が求められる事業者」である半導体工場のサプライヤであることから、工場での生産、半導体工場への装置・部品の納入、およびサービス・サポートを継続してまいります。また当社のサプライヤについても生産・供給能力に関して、今後も注意深く確認をしてまいります。



＜当社における新型コロナウイルス感染症対策＞



<ol class="wp-block-list"><li>手洗いの励行、マスクの着用の義務化</li><li>毎朝の検温実施</li><li>新型コロナウイルス感染症対応：従業員行動マニュアルの配布</li><li>サービス・サポートを除く国内外の不要不急の出張の原則禁止</li><li>遠隔地からも業務可能な全従業員の在宅勤務</li><li>お客様およびサプライヤ様等とのオンラインミーティングの推奨（ご質問については、下記の連絡先へお問い合わせください。）</li></ol>



新型コロナウイルス（COVID-19）によって亡くなられた方々にお悔やみ申し上げると共に、影響を受けた方々の一日も早い回復と、感染の終息を心よりお祈りいたします。



ギガフォトン株式会社 代表取締役社長



浦中　克己



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table><tbody><tr><td>報道機関お問合わせ窓口 経営企画部 高久賢次：web_info@gigaphoton.com TEL: 0285-37-6931 サプライチェーンに関するお問合わせ窓口 生産部購買課 亀田英信：hidenobu_kameda@gigaphoton.com 清水梨花：rika_shimizu@gigaphoton.com TEL: 0285-28-8433 サービス・サポート、物流に関するお問合せ窓口 カスタマサポート部 （国内）溝上貴之：takayuki_mizokami@gigaphoton.com （海外）岡健治：kenji_oka@gigaphoton.com TEL: 0285-28-8409/8423 商談に関するお問合わせ窓口 営業部 内田清孝：kiyotaka_uchida@gigapoton.com TEL: 0285-28-8415 その他に関するお問合わせ窓口 総務部 中村眞由美 TEL: 0285-28-8410 海外拠点連絡先 韓国ギガフォトン 史承學（Seung Hak, Sa）：sh_sa@gigaphoton.com ギガフォトン台湾 宮本英治：eiji_miyamoto@gigaphoton.com 呉健賢：ken_wu@gigaphoton.com ギガフォトン中国 佐藤大祐：daisuke_satou@komatsu.com.cn 何胜杰：heshengjie@komatsu.com.cn シンガポール支店 Jason Lim：Jason_lim@gigaphoton.com ギガフォトンUSA Dennis Smith：dennis.s@gigaphotonusa.com James Graves：james.g@gigaphotonusa.com ギガフォトンヨーロッパ Erik de Bekker：GPE_inquiry@gigaphoton.com    </td></tr></tbody></table></figure>

日本政府による緊急事態宣言の影響について(第6報)

1月7日、新型コロナウイルスが全国へ拡大することを避けるため、日本政府は首都圏の1都3県（神奈川県、千葉県、埼玉県）を対象に2度目の緊急事態宣言を発令しました（1月8日から2月7日まで）。



ギガフォトン本社がある栃木県は対象地域外ではありますが、当社は「緊急事態宣言下においても事業継続が求められる事業者」である半導体工場のサプライヤであることから、工場での生産、半導体工場への装置・部品の納入、およびサービス・サポートを継続してまいります。また当社のサプライヤについても生産・供給能力に関して、今後も注意深く確認をしてまいります。



＜当社における新型コロナウイルス感染症対策＞



<ol class="wp-block-list"><li>手洗いの励行、マスクの着用の義務化</li><li>毎朝の検温実施</li><li>新型コロナウイルス感染症対応：従業員行動マニュアルの配布</li><li>サービス・サポートを除く国内外の不要不急の出張の原則禁止</li><li>緊急事態宣言地域から公共交通機関を利用する従業員、もしくはその他要因で通勤が難しい従業員の在宅勤務</li><li>お客様およびサプライヤ様等とのオンラインミーティングの推奨（ご質問については、下記の連絡先へお問い合わせください。）</li></ol>



新型コロナウイルス（COVID-19）によって亡くなられた方々にお悔やみ申し上げると共に、影響を受けた方々の一日も早い回復と、感染の終息を心よりお祈りいたします。



ギガフォトン株式会社



代表取締役社長



浦中　克己



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table><tbody><tr><td>報道機関お問合わせ窓口 経営企画部 高久賢次：web_info@gigaphoton.com TEL: 0285-37-6931 サプライチェーンに関するお問合わせ窓口 生産部購買課 亀田英信：hidenobu_kameda@gigaphoton.com 清水梨花：rika_shimizu@gigaphoton.com TEL: 0285-28-8433 サービス・サポート、物流に関するお問合せ窓口 カスタマサポート部 （国内）溝上貴之：takayuki_mizokami@gigaphoton.com （海外）岡健治：kenji_oka@gigaphoton.com TEL: 0285-28-8409/8423 商談に関するお問合わせ窓口 営業部 内田清孝：kiyotaka_uchida@gigapoton.com TEL: 0285-28-8415 その他に関するお問合わせ窓口 総務部 中村眞由美 TEL: 0285-28-8410 海外拠点連絡先 韓国ギガフォトン 史承學（Seung Hak, Sa）：sh_sa@gigaphoton.com ギガフォトン台湾 宮本英治：eiji_miyamoto@gigaphoton.com 呉健賢：ken_wu@gigaphoton.com ギガフォトン中国 佐藤大祐：daisuke_satou@komatsu.com.cn 何胜杰：heshengjie@komatsu.com.cn シンガポール支店 Jason Lim：Jason_lim@gigaphoton.com ギガフォトンUSA Dennis Smith：dennis.s@gigaphotonusa.com James Graves：james.g@gigaphotonusa.com ギガフォトンヨーロッパ Erik de Bekker：GPE_inquiry@gigaphoton.com &nbsp; &nbsp;</td></tr></tbody></table></figure>

日本政府による緊急事態宣言の影響について(第5報)

15年ぶりのフルモデルチェンジで1.5倍の高出力を実現



栃木県小山市；2020年11月4日、半導体リソグラフィ用光源メーカーである<a href="https://gigaphoton.com">ギガフォトン株式会社</a>（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己）は、新型KrF露光装置用光源「G60K」を10月29日に出荷したと発表しました。



新型KrF用光源「G60K」は、約15年ぶりのフルモデルチェンジと新型電源ユニットの導入により、従来比1.5倍の出力60Wを可能にしました。これにより、スキャナーの生産性を最大150%改善することが期待できます。また、ボディは拡張性を兼ね備えた新型プラットフォームを採用し、将来のKrFスキャナーの生産性拡張に対応するための光源の性能向上にも対応しています。



従来のKrF光源は、高出力になるとスループットは上がるものの、モジュール交換増加によるダウンタイムが増え、結果アベイラビリティが下がるというジレンマがありました。「G60K」はその新技術により、ダウンタイムを増やすことなく、高出力・高アベイラビリティの両立に成功しています。また、高ドーズレイヤーにおける最大スループットの実現も可能となっています。



ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの浦中克己氏は、こう述べています。「ギガフォトンのKrF光源は我々の技術と経験が詰まった製品であり、お客様から長きに渡り高い評価を得ています。今回15年ぶりでフルモデルチェンジしたG60Kは、フィールドで高稼働し、お客様の生産性を一層高めると確信しています。ギガフォトンは引き続き、生産性を最大化する製品・サービスを提供していきます。」



ギガフォトンについて 2000年設立以来、ギガフォトンは光源サプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細については<a href="https://gigaphoton.com">https://gigaphoton.com</a>をご覧ください。



報道関係者向けの連絡窓口： ギガフォトン株式会社 経営企画部 高久賢次 TEL: 0285-37-6931 Eメール: <a href="mailto:web_info@gigaphoton.com">web_info@gigaphoton.com</a>[:cs]

ギガフォトン、最新KrF光源機種「G60K」を出荷開始

<h2 class="has-text-align-center wp-block-heading" id="取締役-常務執行役員榎波-龍雄">取締役　常務執行役員 榎波　龍雄</h2>



榎波取締役は2017年6月に取締役に就任されて以降、経営企画部長、生産・営業・カスタマサポート・シンガポール管掌と、ギガフォトンビジネスの要所を担われ、また将来のギガフォトン像についても日々探索を続けられています。榎波取締役に、半導体業界について、組織のあり方やご自身の夢など、幅広くお話しを伺いました。



榎波さんは営業部長を長い期間経験されましたが、取締役・経営企画部長になられてからは、視点が変わられましたか？


<div class="wp-block-image">
<figure class="alignleft size-full is-resized"><img decoding="async" src="/wp-content/uploads/2019/09/Enami_1-e1568958100881.jpg" alt="" class="wp-image-5786" width="400" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2019/09/Enami_1-e1568958100881.jpg 600w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2019/09/Enami_1-e1568958100881-300x200.jpg 300w" sizes="(max-width: 600px) 100vw, 600px" /></figure></div>


はい、変わったと思います。以前は、現状のビジネス拡大が一番の関心事でした。日々、いかにレーザを販売し、それに伴う部品ビジネスを大きくしていくかということに注力していました。当社の売上・利益につながるものであれば、それを徹底的にやる、という考えは今も変わってはいませんが、取締役になってからは、「それをどう継続していくか？」ということに目を向けるようになりました。つまり将来の継続的な発展に、より関心を持つようになったということですね。今は、従来のリソグラフィ用光源の開発、販売ビジネスの「拡大」に注力する傍ら、一方ではこれまでと異なる新しい製品の開発、販売という「成長」のことも考えています。またそのためには、安全・コンプライアンスを最優先にすべきであると再認識しました。組織の拡大・成長はしっかりした土台・基礎があってこそ実現できることであり、素晴らしい製品を開発しても、一つの大きな不祥事で水の泡になってしまうことがあります。ギガフォトンのさらなる発展のためには、何よりも重要な事だと改めて思うようになりました。



今後の半導体業界はどうなっていくと思いますか。また我々はそこに対してどのような提案をしていくべきでしょうか。


<div class="wp-block-image">
<figure class="alignright size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="272" height="380" src="/wp-content/uploads/2022/04/Enami_2-e1568958041874.jpg" alt="" class="wp-image-7947" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/04/Enami_2-e1568958041874.jpg 272w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/04/Enami_2-e1568958041874-215x300.jpg 215w" sizes="(max-width: 272px) 100vw, 272px" /></figure></div>


2000年以降、半導体を牽引していたのはPCや携帯等の電子デバイスであり、それらが普及し終わったら半導体ビジネスは頭打ちになると考えられていました。しかしIoTのようなコンセプトの出現で、最近またそれが伸び始めました。IoTでは、半導体はスマホやPCといった大型の電子デバイスではなく、センサーとして使われます。例えば今座っているこの机にチップをつけて電波をとばせば、ここにあることが分かり棚卸しができますし、人体に埋め込んで検査や治療に利用することも可能と言われています。また安全のため子供に身に着けさせて位置確認ができる・・等々適用範囲は無限にあります。世の中にあるすべてのものにセンサーをつけましょう、というコンセプトなんですね。言い換えれば大型電子デバイスとは全く異なるアプリケーションが出現したということなんです。ICT（Information and Communication Technology; 情報通信技術）が更に加速して、無限に適用範囲が広がったというイメージがあります。



ギガフォトンの戦略としては、既存のリソグラフィ用光源事業に注力していくということでしょうか？



我々は半導体リソグラフィ用光源という1つの事業を20年近くやってきたので、今は次の事業を考える時期だと考えています。リソグラフィ用光源の種類が、水銀ランプ、KrF、ArFドライ、ArF液浸、EUV*と変遷するに従い、我々のレーザ光源もいずれは縮小するだろうと考え、この5年くらいはなるべく早く他用途向けに特化する必要があると考えていました。しかし、先ほどのIoTの広がりから、頭打ちの時期は少し先延ばしされたと思います。



開発中のEUVについてはどのように考えていますか。



EUVは、それより波長が短い実用的な光源はないので、遅かれ早かれ最終的にはEUVに辿り着き、恒久的に使われると考えています。ただし、ギガフォトンがビジネスとしてどのタイミングでやるかはまだ決定に至っていません。いずれにしてもEUVを通じて半導体業界に貢献していくことは大事なことですので、決して諦めず、腰をすえて開発していきたいと思います。



グリーンイノベーション（エコロジー）のような、機能の開発についてはいかがですか。



産業界に限らず、現代社会にとって「エコロジー」は永遠のテーマなので、それは続けていきます。当社では、今は本体の基本性能改善に力を入れている段階ですが、それが落ち着けばまた「エコロジー」に力を入れたいと思っています。今も、お客様の国の事情等で電力削減の要望は根強くあり、また資源の問題を考えれば電力は極力使わない方が良い事は自明なので、今後も取り組んでいきます。もちろんガス削減も同様です。



では、今後ギガフォトンはどのように進んでいくのでしょうか。



ギガフォトンができることは2つあります。１つは既存事業であるリソグラフィ用光源の強化です。現在のガスレーザを、固体レーザとのハイブリッドにするイノベーション、次にデータプロダクトによるユーザサポートの強化、およびEUVの実現、という具体的なロードマップを策定しています。 2つ目は、このコアコンピタンスであるギガフォトンのエキシマレーザ技術を他分野へ生かしていくということです。アニール用、小径加工用の光源開発から始めて、長期的には自社でシステムを開発するという構想があります。



ギガフォトンの強みは何だと思われますか。



特筆すべきところは、秀逸なビジネスモデルを完成させている所にあります。リソグラフィ用レーザの本体をOEMメーカに販売し、その後OEMのリソグラフィ装置と当社のレーザが組み合わされて、半導体メーカに設置される。そこからは、半導体メーカに部品を販売しています。レーザ本体は生産財であるため、使用期間が非常に長いのが特徴で、実際20年近く使って頂いているものもあります。したがって新規製品を販売すれば、市場での累積台数がどんどん増えていきますよね。通常、寿命等の長い高性能製品ができると、次の新規製品の販売を圧迫してしまう弊害がありますが、当社の部品ビジネスでは、そこに対してお客様のパルス消費に比例して課金を行っているので、市場にあるレーザの台数が多く、使用期間が長いほど売上が上がります。したがって長寿命な部品が開発できれば、その分が利益として還元されます。つまりギガフォトンのビジネスモデルでは、製品開発の方向性と収益の方向性が一致しており、どんどんチャレンジできる恵まれたビジネスモデルなんですね。 また、社員の良いところとして、ビジネスに対して真摯な姿勢をもっているということがあります。コンプライアンスの話と繋がりますが、「不当な利益」を追わないということです。当たり前のことですが、これが会社を継続させる秘訣だと思います。



今後、さらに会社が成長するには何が必要だと思いますか。



多様性を求めたいですね。色々な国、考え方、の違う人が集まった集団になってほしいです。これまでは日本人だけで集まって「これがいい」としていましたが、今やお客様の9割近くは海外の方なんですよね。合うはずがないんですよ。そういう意味で日本人以外の人の意見を盛り込んだ製品開発だったり、ビジネスデベロップメントだったりを強化していきたいです。確かに製品自体はグローバル化されており、世界のどこに持っていっても使えますから、ある程度日本人が考えたもので通用しています。しかしサポートとなると少し話が違う。日本のお客様にやっていたサポートでは世界中のお客様を満足させられないんです。何故なら「稼働率重視」か「性能重視」かなど、国によってお客様が求めているものが違うからです。だから韓国には韓国に合った、台湾には台湾に合った、中国、欧米も同様で、それぞれの国やお客様に合った、サポートの仕方があるはずなんです。そういう意味で数年前から始めた、各国のフィールドサービスエンジニア（FSE）が他の国に行くという、One GIGAPHOTON体制というやり方は、FSEが国によってお客様が求めているものが違うことを肌で経験できるのでとても良い仕組みだと思います。今後は現場だけでなく法律等の違いも見越したサポートや開発が鍵になってくると思います。



コンプライアンス管掌役員として、法令遵守、内部統制等についてのお考えをお聞かせ下さい。



ここ2、3年はギガフォトングループ全体で内部通報を含めたコンプライアンス事案が増加しています。従業員が増加したことも要因ではありますが、私は、これは従業員のコンプライアンス意識が向上したからだと、ポジティブに捉えています。コマツグループには“No news is bad news.” という考えがあって、悪い情報ほど早く報告することが奨励されていますので、コマツの行動基準に沿ったコンプライアンス教育が浸透してきた結果だと思っています。長年教育や経験を積んで育った人が、コンプライアンス問題で退職してしまうのは、会社にとって大きな財産を失うことであり、非常に残念なことです。ですから、まずはコンプライアンス問題を起こさないことが一番大切で、そのためには、起きない工夫、仕組みが必要です。そして、つきつめていくと重要なキーになるのは、やっぱり教育だと考えています。ギガフォトンでは2017年度からワークショップ形式のコンプライアンス教育を実施しています。これはドラマ形式のコンプライアンスDVDを視聴した後、個々が自分の身に置きかえて考え、グループでディスカッションし、自分ならどうするかを発表していくというものです。参加者が真剣に取り組み、意識の向上が見てとれる非常に良い取り組みだと思いますので、今後も継続して実施していきたいと思います。また教育と併せて、会社側のコンプライアンス案件の解決能力も重要です。私自身もしっかり勉強して、他部門とも協力して能力を向上させていきたいと思います。



最後に、榎波さんの今後の夢を教えて下さい。


<div class="wp-block-image">
<figure class="alignleft size-medium"><img loading="lazy" decoding="async" width="300" height="214" src="/wp-content/uploads/2022/01/image-3-300x214.png" alt="" class="wp-image-7693" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/image-3-300x214.png 300w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/image-3.png 460w" sizes="(max-width: 300px) 100vw, 300px" /></figure></div>


仕事に関しては、ここまで述べたように、会社の安定した成長を実現することです。ギガフォトンには50年～100年の企業に育っていってほしいですからね。 あとは長年学んでいる経営学の勉強を継続し、良い論文を発表したいです。私達のビジネス分野であるリソグラフィ装置は、これまで世の中で作られたものの中で最も精密な機械であり、これ以上のものは世の中にはないと言われています。その歴史がどうなっているか、何がビジネスの結果を決めるのか、それに関わる者として形にして残しておく義務があると思っています。ギガフォトンは来年創立20周年を迎え、20周年プロジェクトも始動していますが、そういう意味でも会社の社史をしっかり作って、みんなの努力の跡を残したいと思います。プライベートでは、絵画鑑賞が趣味なので海外の美術館巡りを再開できたらと思います。以前はよく行っていたのですが、最近は中々時間がとれないのが残念です。特にロシアのエルミタージュ美術館はまだ行ったことがないので、是非訪れたいですね。



＊EUV ー 極端紫外線(EUV)と呼ばれる非常に短い波長（13.5 nm）の光を用いるリソグラフィ技術であり、EUV光源を用いることで、より微細な加工が可能となる。

リーダーインタビュー

<h2 class="has-text-align-center wp-block-heading" id="取締役-常務執行役員齋藤-隆志">取締役　常務執行役員 齋藤　隆志</h2>



齋藤取締役は2017年6月に取締役に就任しました。ギガフォトンは2000年に、ウシオ電機とのジョイントベンチャーとしてスタートしましたが（2011年解消）、齋藤さんはウシオ電機からギガフォトンへ出向後、移籍なさいました。開発部副部長、カスタマサポート（CS）部長を経て現在はEUV開発部長として、またレーザ開発・品質保証管掌役員として、当社の技術開発の要となっている齋藤さんにお話を伺いました。



齋藤さんが取締役になられて1年半経ちましたが、今どのようなことが会社の課題だと思われますか。


<div class="wp-block-image">
<figure class="alignleft size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="400" height="267" src="/wp-content/uploads/2019/09/Saito_1-e1567582429186.jpg" alt="" class="wp-image-5781" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2019/09/Saito_1-e1567582429186.jpg 400w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2019/09/Saito_1-e1567582429186-300x200.jpg 300w" sizes="(max-width: 400px) 100vw, 400px" /></figure></div>


経営陣に参画して会社の課題がより明確になりました。短期的な課題としては、リソグラフィ用エキシマレーザ（DUV）の競争力強化です。特に部品の長寿命化と、エネルギや波長の安定性がポイントになりますね。またフィールドサービスエンジニア（FSE）や、各現地法人としっかりコミュニケーションがとれるグローバルな人材の育成が急務だと感じています。長期的な課題としては、次のビジネス展開とEUV＊の開発です。今は現行のDUVビジネスが順調なので、この間がチャンスだと思います。当面はフラットパネルディスプレイ（FPD）用アニール向けレーザビジネスを育て、並行して他の分野にも挑戦していく。また光源ビジネスだけでなく、FABSCAPEのような解析用のソフトウェアの種も蒔かれ始めましたので、こちらも早くビジネスの柱の一つになってほしいと思っています。EUVはどこまで粘り強くやるかが鍵ですね。ギガフォトンの強みを実証して、できるだけ早くビジネスにしていきたいです。



EUV開発部長として、齋藤さんのEUVに対する想いをお聞かせ下さい。


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<figure class="alignright size-medium"><img loading="lazy" decoding="async" width="258" height="300" src="/wp-content/uploads/2019/09/Saito_3-e1567582613214-258x300.jpg" alt="" class="wp-image-5780" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2019/09/Saito_3-e1567582613214-258x300.jpg 258w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2019/09/Saito_3-e1567582613214.jpg 274w" sizes="(max-width: 258px) 100vw, 258px" /></figure></div>


リソグラフィの世界では次の世代の光源は間違いなくEUVですので、EUVが無いというのは光源メーカとして最先端企業と言えなくなってしまいます。何年後かは分かりませんが、いつかDUVがコモディティ化して世の中にEUVが出回っている時に、自分達にはそれが無いとなると、リソ業界で生きている会社としてはモチベーションが下がるのではないでしょうか。そうならないためにも、当社の強みであるデブリミチゲーションの技術をアピールして、早くビジネス参入したいと思っています。



EUV開発は開始から15年以上経っていますね。



そうですね。ただ、DUVも今のように利益がでるようになるまで、かれこれ30年位かかっています。EUVは2002年頃からコマツで研究が開始されていますが、自社で研究・開発するようになったのは、2011年にウシオとの合弁を解消した後になります。歴史は長いですが、本格的に開発を始めたという意味では、まだ最近のことです。EUVはDUVに比べると費用も一桁違いますし、当社の規模に対して大きいビジネスですが、限られた研究費用の中、少数精鋭でよくここまで頑張ってきたな、という印象です。



ギガフォトンの強みはなんだと思われますか。



設立20年弱の会社なので、発足当初からのメンバーがまだいるというのは、良いことだと思います。その人達が残してくれた多くの成果を、会社の財産としてしっかりした形で引き継いでいくことも課題ですね。また、会社が急激に成長するにつれて、他社から多くの方達が転職してきてくれましたが、その中の何人かは今のギガフォトンの中心人物として活躍しています。そうやって会社の成長の度に外からの血を上手く取り入れることができるのも強みといえますね。これはトップと担当者の垣根があまりない、自由な社風によるものかと思います。また、リソグラフィ業界のレジェンドと言われるような著名な方々が当社にアドバイザー的な立場で在籍してくださっていることも、とても良いことだと思います。その方々から学ぶことは沢山ありますから、特に研究・開発の人達は一つでも多く吸収して欲しいですね。



これまで経験された中で、どのようなことが印象に残っていますか。



まず、2001 年に開発のプロダクトマネジャだった時、現在の業界最大手OEM向けにシングルチャンバ方式のArFエキシマレーザを開発したことですね。残念ながらあまり売れませんでしたが、この時に築いた関係が次のツインチャンバ方式レーザの販売に繋がり、且つお客様との今の良好な関係の基礎を作ったのではと思っています。また、2007年から5年間CS部で副部長、部長を務めました。それまでは開発一筋でしたので、全く分からないことだらけからのスタートでした。今では考えられないことですが、CS部に異動したばかりの時部品の棚卸があったのですが、その際、一部業務手順の不備を原因とするかなり大きな差異が出てしまいました。それにも拘わらず「棚卸しとはこういうものなのかな？」とその報告に納得してしまったんですね。それが異常なことだと知って、すぐに正常な状態に戻しましたが、異動当初は在庫管理の感覚が全く無く、その異常さが瞬時には実感できなかったんです。CS部を経験したおかげで販売、サービス、在庫管理、輸出管理等、会社の仕組みを学ぶことができ、とても良かったと思っています。



最後に齋藤さんの夢をお聞かせください。


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<figure class="alignleft size-medium"><img loading="lazy" decoding="async" width="300" height="200" src="/wp-content/uploads/2019/09/Saito_2-e1567582361196-300x200.jpg" alt="" class="wp-image-5779" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2019/09/Saito_2-e1567582361196-300x200.jpg 300w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2019/09/Saito_2-e1567582361196.jpg 600w" sizes="(max-width: 300px) 100vw, 300px" /></figure></div>


そうですね、まず仕事の方では、ギガフォトンには将来売上げが1000億に届くような企業になってほしいと思っています。そのキーになるのはやはりEUVかと思っています。今のDUVのようなビジネスがEUVでできればそれも可能だと思っています。プライベートの方では、毎年家族や仲間でキャンプに行っていて、もう20年位経ちますが、最近は子供が大きくなったので色々な準備を殆どやってくれるんですね。なので、そろそろ夫婦二人でキャンピングカーの旅をしてみたいなあと思っています。あと各地にある豪華列車に乗って旅行するのもいいですね。どちらもまだ先の話ですが、ゆっくり時間がとれるようになったら実現したいと思っています。



＊EUV）極端紫外線(EUV)と呼ばれる非常に短い波長（13.5 nm）の光を用いるリソグラフィ技術であり、EUV光源を用いることで、より微細な加工が可能となる。

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