65nm 이후의 기술 노드에 대응하는 4kHz ArF 엑시머 레이저 제품
노광장치용 광원으로 세계 최초로 인젝션 락 기술을 채용하여, 기존에는 곤란한 것으로 인식되던 좁은 스펙트럼과 고출력의 양립을 가능하게 했습니다. 또한 광학계에 미치는 손상을 줄이는 낮은 피크의 펄스 에너지를 발진하여 업계 최고 수준의 저운용 비용을 실현. 또한 새로 개발한 고도 자기 진단 기능(self diagnosis)을 탑재하고 있을 뿐만 아니라, 모듈 교환성 등 서비스성을 대폭 개량하여 고신뢰성ㆍ고가동률을 실현하고 있습니다.
특징
인젝션 락 레이저
양산기로 업계 최초의 인젝션 락 기술(*)을 채용하여 45W의 고출력과 반값 전폭에서는 0.2pm, E95에서는 0.5pm이라는 업계 최고 수준의 스펙트럼 선폭의 DUV광을 고도로 안정시켜 발진할 수 있습니다. 또한 레이저 및 노광장치가 광학계에 미치는 손상을 줄이는 낮은 피크의 펄스 에너지를 실현하고 있습니다.phy tool optics.
| 인젝션 락 기술이란 매우 좁은 스펙트럼 폭으로 튜닝하여 발진시킨 저출력의 레이저광(Master)을, 대출력의 레이저 공진기(Amplifier)에 주입하여 레이저 공진을 통해 증폭하는 기술로, 기존에는 곤란한 것으로 인식되던 좁은 스펙트럼과 고출력의 양립을 가능하게 하는 기술입니다. |
업계 최고 수준의 저운용 비용
The injection-locking technology allows greater reduction of the load upon the laser optics. 인젝션 락 기술을 통해 레이저 광학 부품에 대한 부하가 경감되고, 또한 시스템 구성을 개선하여 소모품(모듈)의 종류ㆍ교환 빈도가 대폭 경감되었습니다. 그 결과 업계 최고 수준의 저운용 비용을 실현하고 있습니다.
고신뢰ㆍ고가동 설계
또한 새로 개발한 고도 자기 진단 기능(self diagnosis)을 탑재하고 있을 뿐만 아니라, 모듈 교환성 등 서비스성을 대폭 개량하여 반도체 공장에서 필수로 생각하는 고신뢰성ㆍ고가동률을 실현하고 있습니다.
주 사양
| 사양 항목 | 값* |
|---|---|
| 발진 파장 | 193 nm |
| 평균 출력 | 45 W |
| 펄스 에너지 | 11.25 mJ |
| 발진 주파수 | 4,000 Hz |
| 스펙트럼 선폭 (FWHM) | 0.2 pm |
| 스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) | 0.5 pm |
