100nm 노드에 대응하는 4kHz ArF 엑시머 레이저
주요 특징
- 새로 설계한 고체 펄스 전원을 통해 주파수 4000Hz로 발진할 수 있으며, 20W의 고처리율을 실현
- 기가포톤 KrF 레이저(G10K 시리즈, G20K 시리즈)의 고신뢰성 설계를 적용
주 사양
사양 항목 | 값* |
---|---|
발진 파장 | 193 nm |
평균 출력 | 20 W |
펄스 에너지 | 5.0 mJ |
발진 주파수 | 4,000 Hz |
스펙트럼 선폭 (FWHM) | 0.35 pm |
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) | 0.85 pm |