80nm 노드에 대응하는 4kHz ArF 엑시머 레이저
주요 특징
- G41A를 바탕으로 스펙트럼 폭(반값 전폭)을 G41A의 0.35pm에서 0.3pm으로 개량하여 80nm 설계 규칙에 대한 대응을 가능하게 했습니다
- 각 모듈에 고내구성 부품을 채용하여 수명을 늘려 CoO를 대폭 경감
- 레이저 체임버: 전극에 고내구성 부품을 채용
- 협대역화 모듈, 모니터 모듈 등: 광학 부품에 고내구성 재료를 채용
주 사양
사양 항목 | 값* |
---|---|
발진 파장 | 193 nm |
평균 출력 | 20 W |
펄스 에너지 | 5.0 mJ |
발진 주파수 | 4,000 Hz |
스펙트럼 선폭 (FWHM) | 0.3 pm |
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) | 0.75 pm |