可达全球最高输出功率 90W、支持浸没式双重曝光的 ArF 准分子激光机“GT62A”
GT62A 为 GT 系列最新机型，采用注入锁定方式，即所谓第四代 GT（GigaTwin）平台。为支持浸润双重曝光，供应 90W 的输出功率。更为针对各方客户的需求，亦可以 60W 进行运转，导入系统时的性价比优异。
装置内搭载共振腔、光学零件等耗材的长寿命技术，以及让停机时间减至最低的 GIGAPHOTON 独家技术，在经济方面成为您导入最先进科技的后盾。
GT 系列获得全球各国主要客户大量采购，其设计构思、可靠性均获高度评价。GT62A 的平台设计与既有的 GT 系列系出同门，寻求极限共享化，对用户而言，从装置引进起便能期待高度可靠性。
GT62A的特色
高输出、高稳定性
采用新研制电源，与 60W 机型 GT61A 相比可提升功率达 50%，实现 90W 高输出功率。并搭载因应高输出增加的热负载对策技术以及新研发的高耐久性光学组件，确保高输出运转时的稳定性能。并且标准配备 GIGAPHOTON 独家技术－－BCM（带宽控制模块；Bandwidth Control Module），稳定供应光谱。
GT62A 为了因应各方客户的需求，也推出了 60W 输出规格机型。如此一来，您可在引进当时压低成本，以 60W 输出持续运转，等待将来有需要时可升级为 90W，在最适当的时机做出最必要的投资进行使用。
控制成本
半导体生产装置的高性能化、高产量化进步速度如飞。我们认为，让此类生产装置以极限劳动效率运转方可与客户工厂生产率的提升接轨，因此 GIGAPHOTON 多年以来不断持续进行着达成并维持激射高劳动效率的活动。这些技术已配备在 GT 系列，最新机型 GT62A 更配备了更换气体交换停机时间为现有机型10分之1的科技，以及有效使用共振腔、光学组件延伸实质寿命，延长维修周期并抑制成本的技术。
主要规格
| 规格项目 | 值* |
|---|---|
| 发射波长 | 193 nm |
| 平均输出功率 | 60/90 W |
| 脉冲能量 | 10.0/15.0 mJ |
| 发射频率 | 6,000 Hz |
| 光谱幅度（以 95 %能量累计，E95） | 0.35 pm |
