G60KG60K

주요 특징

스캐너 스루풋 300매/h 대응 고출력화

신형 전원 유닛을 도입하여 기존 대비 150%인 60W의 출력을 가능하게 했습니다. 이를 통해 후막 레지스트 등의 저감도 레지스트에서도 스루풋 로스를 억제하고 동시에 추가적인 생산성 향상에 공헌합니다.

이미 실적이 있는 99.9% 이상의 가용성 대응 기술의 답습

필드에서의 높은 가용성과 성능의 안정성에 있어서 고객으로부터 높은 평가를 받고 있는 모델 G41K의 기술을 기반으로 모든 출력 대역에서 99.9% 이상의 가용성을 실현합니다. 또한 신기술을 투입하여 모듈 수명을 200% 연장시켜 가용성 향상을 제공합니다.

서스테이너빌리티 솔루션의 제공

헬륨 프리 기술의 표준 장비로 희귀 가스의 공급 부족 리스크에 대비할 뿐만 아니라 유틸리티의 소비량 절감 기술을 통해 환경에도 배려한 광원입니다.