0.18μm 설계 규칙에 대응하는2kHz KrF 엑시머 레이저
의 주요 특징
- 검증된 G20K의 에너지 안정성을 더욱 향상
- 협대역화 광학계의 개량을 통해 0.13µm 기술 노드의 리소그래피 프로세스에 대응하는 초협대역화 성능: 스펙트럼 반값 0.5pm을 실현
주 사양
사양 항목 | 값* |
---|---|
발진 파장 | 248 nm |
평균 출력 | 20 W |
펄스 에너지 | 10.0 mj |
발진 주파수 | 2,000 Hz |
스펙트럼 폭 (FWHM) | 0.5 pm |
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) | 1.4 pm |
적산 에너지 안정성 | 0.35 % |