High Power KrF for Laser Processing

고출력KrF

ArF Immersion

ArF Dry

Data Products


<h2 class="wp-block-heading" id="130nm-이하-노드에-대응하는-4khz-krf-엑시머-레이저">0.25μm-0.18μm 설계 규칙에 대응하는 1kHz 엑시머 레이저</h2>



<p>엑시머 레이저는 불화ㆍ고전압 방전ㆍ심자외광이라는 화학 반응성이 강한 요소를 사용하므로, 안정성과 내구성의 실현이 최대의 기술 과제였습니다. 노광용 엑시머 레이저에는 이 성능과 더불어 빛의 고도의 단색성과 출력 에너지의 균일성이 요구됩니다.</p>



<p>G10K는 이러한 어려운 과제를 처음으로 해결한 엑시머 레이저로서, 1997년에 출시했을 때부터 그 획기적인 안정 가동과 성능이 리소그래피 광원 시장에서 높이 평가되어, 현재도 현장에서 활약하고 있습니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="주요-특징">의 주요 특징</h3>



<ul class="wp-block-list"><li>안정 발진과 고내구성으로 고가동률과 경제성을 실현</li><li>독자적인 RF 예비 전리 방식, 신형 고전압 펄스 전원의 개발로 발진 안정성을 대폭 개선하고, 동시에 내구 성능도 대폭 향상</li><li>각 구성 모듈의 여유 있는 성능 실현과 모든 부품ㆍ모든 공정에서 철저한 품질 보증 체제를 통해 제품의 고신뢰성을 확보</li></ul>
</div></div>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="주-사양"><strong>주 사양</strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>248 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>10 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10.0 mj</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>1,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (FWHM)</td><td>0.6 pm</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>2.0 pm</td></tr><tr><td>적산 에너지 안정성</td><td>0.5 %</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>
</div></div>


G10K


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G300K_500.png" alt="G300K" class="wp-image-7601" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G300K_500.png 500w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G300K_500-300x300.png 300w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G300K_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="300" height="29" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2016/03/GIGANEX2_sm.png" alt="" class="wp-image-4555"/></figure></div>



<p> </p>



<h2 class="wp-block-heading" id="giganex-시리즈-신제품-차세대-미세-어블레이션-가공용-300w-krf-레이저-고출력-고신뢰성의-coo-저감-대응-모델">GIGANEX 시리즈 신제품, 차세대 미세 어블레이션 가공용 300W KrF 레이저. 고출력, 고신뢰성의 COO 저감 대응 모델</h2>



<p>KrF 레이저 ‘G300K’는 GIGANEX의 라인업에 추가되는 신기종이며, 미세 어블레이션 등 ‘가공의 최적화’를 콘셉트로 하여 고출력, 99% 이상의 고가동률을 유지하면서 고객님의 ROI 최대화를 실현한 모델입니다. 누계 출하 실적이 900대 이상 되는 당사의 반도체 리소그래피용 KrF 광원 G41K를 기본 플랫폼으로 채택하여 고출력에 최적화된 전원, 레이저 챔버를 신규 개발해 탑재했습니다. 이를 통해 반도체 제조 백엔드 공정에서의 차세대 미세 어블레이션 가공에서 생산성 향상과 COO 저감에 따른 고객님의 ROI 최대화를 서포트합니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="주요-특징">주요 특징</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="고반복-고출력">고반복, 고출<strong><strong>력</strong></strong></h4>



<p>가공용 KrF 레이저로서는 유일한 4000Hz의 고반복, 300W의 고출력을 달성. 기존의 UV 레이저에서는 실현 불가능 영역에서의 미세 어블레이션 가공이 가능합니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="높은-가동률">높은 가동률</h4>



<p>반도체 리소그래피 KrF 광원으로서 900대 이상의 실적을 자랑하는 G41K의 신뢰성을 그대로 유지한 채 99% 이상의 고가동을 실현합니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="긴-수명">긴 수명</h4>



<p>반도체 제조 광원에서 축적한 생산성에 견딜 수 있는 모듈 수명을 그대로 유지한 채 긴 유지 보수 주기를 보유하여 고객님의 수율 향상과 유지 보수 비용의 절감을 서포트합니다.</p>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<h3 class="wp-block-heading" id="주요-사양">주요 사양</h3>


<figure class="wp-block-table">
<table class="has-fixed-layout">
<thead>
<tr>
<th>사양 항목</th>
<th colspan="2">값<sup>*</sup></th>
</tr>
</thead>
<tbody>
<tr>
<td>발진 파장</td>
<td colspan="2">248 nm</td>
</tr>
<tr>
<td>평균 출력</td>
<td>75 W</td>
<td>300 W</td>
</tr>
<tr>
<td>펄스 에너지</td>
<td>75 mJ</td>
<td>75 mJ</td>
</tr>
<tr>
<td>발진 주파수</td>
<td>1,000 Hz</td>
<td>4,000 Hz</td>
</tr>
<tr>
<td>용도</td>
<td colspan="2">차세대 미세 어블레이션 가공</td>
</tr>
</tbody>
</table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>


<p></p>


G300K


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G60K_500.png" alt="G60K" class="wp-image-7600" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G60K_500.png 500w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G60K_500-300x300.png 300w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G60K_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="기존의-150-고출력을-실현하여-장래의-추가적인-출력-요구에-대응하는-krf-노광용-광원">기존의 150% 고출력을 실현하여 장래의 추가적인 출력 요구에 대응하는 KrF 노광용 광원</h2>



<p>기가포톤의 오랜 기술과 경험의 축적을 답습한 제품인 KrF 광원 기술을 기반으로 스캐너 스루풋 300매/h 이상에 대응하는 KrF 노광용 광원 G60K는 기존 대비 150% 출력을 가능하게 하고, 나아가 모듈 수명을 최대 200% 연장시켜 가용성 개선을 제공합니다. 또한 신규 개발 전원과 모듈을 통해 장래의 고출력화에 대비한 고주파수화 등의 성능 향상에도 대응하는 확장성을 겸비하고 있으며, 향후의 KrF 노광 기술의 요구에도 대응합니다. 또한 헬륨 프리 기술도 표준 탑재되어 유틸리티의 소비량 절감에도 공헌합니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="주요-특징">주요 특징</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="스캐너-스루풋-300매-h-대응-고출력화">스캐너 스루풋 300매/h 대응 고출력화</h4>



<p>신형 전원 유닛을 도입하여 기존 대비 150%인 60W의 출력을 가능하게 했습니다. 이를 통해 후막 레지스트 등의 저감도 레지스트에서도 스루풋 로스를 억제하고 동시에 추가적인 생산성 향상에 공헌합니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="이미-실적이-있는-99-9-이상의-가용성-대응-기술의-답습">이미 실적이 있는 99.9% 이상의 가용성 대응 기술의 답습</h4>



<p>필드에서의 높은 가용성과 성능의 안정성에 있어서 고객으로부터 높은 평가를 받고 있는 모델 G41K의 기술을 기반으로 모든 출력 대역에서 99.9% 이상의 가용성을 실현합니다. 또한 신기술을 투입하여 모듈 수명을 200% 연장시켜 가용성 향상을 제공합니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="서스테이너빌리티-솔루션의-제공">서스테이너빌리티 솔루션의 제공</h4>



<p>헬륨 프리 기술의 표준 장비로 희귀 가스의 공급 부족 리스크에 대비할 뿐만 아니라 유틸리티의 소비량 절감 기술을 통해 환경에도 배려한 광원입니다.</p>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<h3 class="wp-block-heading" id="주요-사양">주요 사양</h3>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>248 nm</td></tr><tr><td>출력</td><td>40 &#8211; 60 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10 &#8211; 15 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>특징</td><td>Continuous Reliability Improvement (CRI) Package<br>서스테이너빌리티 솔루션<br>・Helium Free Operation<br>・TGM Gas Management</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>


G60K


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img decoding="async" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G45K_500.png" alt="G45K" class="wp-image-7620"/></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="50w-대응-4khz-krf-엑시머-레이저">50W 대응 4kHz KrF 엑시머 레이저</h2>



<p>4kHz KrF 엑시머 레이저의 제3세대 모델인 G45K는 최첨단 메모리 칩 생산 효율성 향상을 위한 최대 50W의 고출력 모델입니다. 또한 모듈 수명 연장과 Green Technology를 통해 ‘가동률 향상’과 ‘환경에 대한 부하경감’을 양립합니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="특징">특징</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="고출력화">고출력화</h4>



<p>기존 대비 +25%의 고출력 파워인 50W를 실현했습니다. 최첨단 메모리 칩의 생산성 향상에 기여합니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="모듈-수명-연장">모듈 수명 연장</h4>



<p>주요 모듈의 수명을 20% 연장시켜 유지 보수를 위한 다운 타임 절감을 실현했습니다. 이에 따라 더 큰 장치 가동률의 향상을 기대할 수 있습니다.</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="green-technology">Green Technology</h4>



<p>장치 가동 중 헬륨(He) 개스의 사용량을 제로로 하는 “He Free” 표준 탑재, 또한 네온(Ne) 가스 재활용 시스템인 “hTGM”을 연결하여 유지 비용 절감과 환경에 대한 부하경감에 기여합니다.</p>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="주-사양">주 사양</h3>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>248 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>40 W – 50 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10.0 &#8211; 12.5 mJ</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (FWHM)</td><td>0.35 pm</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>1.1 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>
</div></div>


G45K


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41K_500.png" alt="" class="wp-image-7648" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41K_500.png 500w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41K_500-300x300.png 300w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41K_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="130nm-이하-노드에-대응하는-4khz-krf-엑시머-레이저">130nm 이하 노드에 대응하는 4kHz KrF 엑시머 레이저</h2>



<p>4kHz KrF 엑시머 레이저 시리즈의 제2세대 모델인 G41K에 대해, 자기 부상 레이저 체임버, 고효율 LNM, MM을 표준 탑재한 모델입니다.<br>고효율로 1등급 위인 40W 출력을 달성. 더욱 강화된 선량을 요구하는 첨단 노광 프로세스에 대응합니다. 광학 모듈은 30 빌리언 펄스의 장수명화를 달성(당사 G41K 대비 50% 향상).<br>G41K에서 G41K-1H로는 모듈 교환을 통해 현장에서 업그레이드할 수 있습니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="주요-특징">주요 특징</h3>



<ul class="wp-block-list"><li>G41K의 더욱 강력한 고효율을 통해 40W의 고출력/초저 CoO를 실현</li><li>TGM 소프트웨어를 통해 가스 수명을 기존 대비 100% 연장 가능</li><li>수백 대의 시장 가동 레이저가 말해 주는, 압도적으로 고신뢰성</li></ul>
</div></div>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="주-사양"><strong>주 사양</strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>248 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>40 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10.0 mj</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (FWHM)</td><td>0.35 pm</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>1.1 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>
</div></div>


G41K-1H


<h2 class="wp-block-heading" id="130nm-이하-노드에-대응하는-4khz-krf-엑시머-레이저">0.18μm 설계 규칙에 대응하는2kHz KrF 엑시머 레이저</h2>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="주요-특징">의 주요 특징</h3>



<ul class="wp-block-list"><li>검증된 G20K의 에너지 안정성을 더욱 향상</li><li>협대역화 광학계의 개량을 통해 0.13µm 기술 노드의 리소그래피 프로세스에 대응하는 초협대역화 성능: 스펙트럼 반값 0.5pm을 실현</li></ul>
</div></div>
</div></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="주-사양"><strong>주 사양</strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>248 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>20 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10.0 mj</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>2,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (FWHM)</td><td>0.5 pm</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>1.4 pm</td></tr><tr><td>적산 에너지 안정성</td><td>0.35 %</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>
</div></div>


G21K


<h2 class="wp-block-heading" id="130nm-이하-노드에-대응하는-4khz-krf-엑시머-레이저">0.18μm 설계 규칙에 대응하는2kHz KrF 엑시머 레이저</h2>



<p>G20K는 에너지 안정성 ±0.4%, 반값 0.6pm 이하의 좁은 스펙트럼 선폭으로 0.18μm 노드의 리소그래피를 통한 고해상도에 대응합니다.</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="주요-특징">의 주요 특징</h3>



<ul class="wp-block-list"><li>발진 주파수를 G10K의 1000Hz에서 2000Hz로 끌어올려 고처리율을 실현</li><li>레이저 발진의 안정성과 모듈 내구성을 대폭 향상시켜 더욱 강화된 CoO(펄스당 운용 비용) 경감을 달성</li><li>G10K에 비해 설치 바닥 면적을 14% 축소한 콤팩트한 케이스</li><li>새로 설계한 고체 펄스 전원 모듈을 통해 전력 소비량을 20% 절감</li></ul>
</div></div>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="주-사양"><strong>주 사양</strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>사양 항목</th><th>값<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>발진 파장</td><td>248 nm</td></tr><tr><td>평균 출력</td><td>20 W</td></tr><tr><td>펄스 에너지</td><td>10.0 mj</td></tr><tr><td>발진 주파수</td><td>2,000 Hz</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (FWHM)</td><td>0.35 pm</td></tr><tr><td>스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)</td><td>1.1 pm</td></tr><tr><td>적산 에너지 안정성</td><td>0.4 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 각 사양값은 대표값입니다</figcaption></figure>
</div></div>


G10KG10K

0.25μm-0.18μm 설계 규칙에 대응하는 1kHz 엑시머 레이저

의 주요 특징

주 사양

Other KrF

G300K

G60K

G45K

G41K-1H

G21K

G20K

사양 항목	값^*
발진 파장	248 nm
평균 출력	10 W
펄스 에너지	10.0 mj
발진 주파수	1,000 Hz
스펙트럼 폭 (FWHM)	0.6 pm
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95)	2.0 pm
적산 에너지 안정성	0.5 %