0.18μm 설계 규칙에 대응하는2kHz KrF 엑시머 레이저
G20K는 에너지 안정성 ±0.4%, 반값 0.6pm 이하의 좁은 스펙트럼 선폭으로 0.18μm 노드의 리소그래피를 통한 고해상도에 대응합니다.
의 주요 특징
- 발진 주파수를 G10K의 1000Hz에서 2000Hz로 끌어올려 고처리율을 실현
- 레이저 발진의 안정성과 모듈 내구성을 대폭 향상시켜 더욱 강화된 CoO(펄스당 운용 비용) 경감을 달성
- G10K에 비해 설치 바닥 면적을 14% 축소한 콤팩트한 케이스
- 새로 설계한 고체 펄스 전원 모듈을 통해 전력 소비량을 20% 절감
주 사양
사양 항목 | 값* |
---|---|
발진 파장 | 248 nm |
평균 출력 | 20 W |
펄스 에너지 | 10.0 mj |
발진 주파수 | 2,000 Hz |
스펙트럼 폭 (FWHM) | 0.35 pm |
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) | 1.1 pm |
적산 에너지 안정성 | 0.4 pm |