ImportanceofLightImportanceofLight
晶片是由光源所製造出來的
製造半導體晶片的工程被稱為「微影製程」，正如其名與早年的「銀鹽照片」(銀版攝影)的顯像過程非常類似。基本上是透過光將幾何圖形轉映於塗上了感光材料的素材上的一項技術。在相片的世界中，這些幾何圖形就如被映於膠卷底片上被拍下的景物，而相片紙就是塗上了感光材料的素材。
跟以前相片相似的技術
製作芯片的過程與過去膠片攝影時代用來沖洗照片的過程非常相似。這個過程稱為“光刻”。是利用光將圖像轉換到感光材料上。在光刻的過程中，影像圖案是膠片底片，感光材料是相紙。
微影製程
於「微影製程」(俗稱「微影」)中，以幾何圖形將細微的迴路形狀燒烙在稱為遮罩的透明平板上，並塗上感光材料的素材即稱為「晶圓」。如果不是使用特殊的光源的話，是無法將幾何圖形轉映在「晶片」上的。
雷射光源
所謂的雷射（Laser），是取Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation（受激輻射式光波放大）的首字母組成，指的是用共振器將光（電磁波）增幅後獲得的人工光線。雷射光擁有良好的指向性、集中性，以及能維持固定波長等物理特性，這些特性被活用於高附加價值的先進加工用途上。
準分子雷射
何謂準分子雷射
通常狀態下，原子與分子會圍繞著特定的能量持續得運動。而一旦從外部得到能量以後，原子或分子將會攜帶著更高的能量繼續運動。此現象被稱為「激發態」。再經過一陣子，原子或分子會將多餘的能量噴出，並嘗試回到能量初始的狀態。在這個時候被噴出的能量將會化為光向外部散發。此現象則被稱為「自發輻射」。而從這現象產生的光芒與其他攜帶有高能量的原子或分子衝撞後會再度發出同性質的光芒。此現象則被稱為「受激發射」。 準分子雷射在紫外線領域雷射中，具有優異的高震盪效率、以及裝置體積相對小型的特性，因此最適合作為需要高解析度之最尖端半導體曝光裝置使用，同時亦被廣泛應用於工業和醫療（用於LASIK等視力矯正手術）等各種領域。