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2001 年，GIGAPHOTON 領先世界，實現可激發 4 kHz 高頻之量產型 ArF 準分子雷射裝置商品化。其後更持續向市場供應支援高功能曝光裝置的最新型 ArF 準分子雷射裝置，於 Gigabit 世代超微積體回路的微影技術發展多有貢獻。此外，KrF 準分子雷射以其豐富產品線及高性能、高品質、高實惠性廣獲佳評，為全球各曝光裝置製造業者技術競爭力的後盾。