高級研究員
溝口　計

由技術觀點角度，您認為 GIGAPHOTON 今後最急需的是？

最急需的當然是可正常運轉的 HVM（量產）用 EUV 光源。但是像中層的其他各層用 ArF 雷射，我想也會持續研製。如此一來，ArF 雷射需要進一步的更新以及提升商品競爭力。我們希望藉此在 EUV、Deep EUV 兩方面拿下全球第一。

今後 GIGAPHOTON 面臨的最大挑戰為何？

GIGAPHOTON 是以準分子雷射技術起家，要想歷經多年後依然穩居全球龍頭，或是不斷朝第一寶座衝刺，就要看人才了。人才要教育，優秀人才要能聘用，讓 GIGAPHOTON 成為優秀人才趨之若鶩的公司。到目前為止，公司主要由創業以來的人才們領軍發展，但為了今後的永續發展，公司必須持續讓新世代工程師能揮灑能力。這些，也就是挑戰吧。

再來就是資訊。公司無論對內對外，應維持穩健的網絡外。譬如：以往多是與國內大學進行合作，今後也要與海外研究機構、其他公司／業界持續合作。我們並不是全能，專精的技術當然在公司內精益求精，但不甚擅長的技術就要借重其他公司／業界的力量。當然也不是不考慮從零開始的方法，但這樣會來不及。總之就是以最快的腳步持續挑戰全球第一的目標。

次世代半導體製造技術雖有多種選擇，您認為今後技術朝向的方向性會在何處？

截至目前，技術隨著時代而切換不已，而今後我認為將是多種技術並存的時代。當然現在已經是這樣的狀況，但今後將越來越明顯。然後呢，半導體元件的種類也越來越多，將由比以往更廣泛的元件形成半導體的需求基準。以前是以 PC 為中心，目前則是智慧手機、平板電腦等裝置爆發性的擴散。今後可能會有更多方面的發展。

GIGAPHOTON 希望在其中發展何種技術？

首先要在微影坦途打一場勝仗。微影是我們的一個重要商務，也是支撐業界的一項關鍵科技。主力自然要善加經營。坦途自然要光明正大走，但也不光是走著，還要看清目前是小眾卻可能有日後發展潛力的事物並加以吸收。希望能有更大的企圖心。

GIGAPHOTON 擁有技術的最大強項是？

GIGAPHOTON 對於獨特的構思會及早吸收。光是這樣，其他創新企業也能辦到，但我們更有將吸收的構思打造成技術的韌性。此外，一旦發現行不通就立即改變的轉換速度。最大的強項就是這三項吧。

目前的 EUV 雖是以二氧化碳雷射與微液滴冷卻的形式構成，但一開始並非如此，實際是在 2002 年起至 2007 年止約 5 年時間試遍各種方法後，才獲得這個結果。準分子雷射也是到了 1998 年左右才形成目前的方式。在此之前，我們是有方法就試試看，找出最佳的結果，才形成現在的成果。結果來說，所謂的獨特方法，重點在於遇到沒有人做的方法就試看看，而且要用別人的 3、4 倍速度嘗試。因為辦到了，所以我們活了下來。GIGAPHOTON 的具體強項，我想就在這裡了。

要發揮他人 3、4 倍的速度，要下哪些功夫？

應該是動頭腦吧。在腦海中模擬，一面預測結果一面執行。時間不足以讓我們嘗試所有的方法，但我以為其中先以理智而非經驗考慮事物進行預測，就能以他人未及的新作法提早求出正確答案。

此外，讓技術人員能夠大鳴大放，這點非常重要。雖然難，但是非做不可。要製作世上沒有的東西，集合眾人智慧很重要，傾聽非經驗者的意見也很重要。技術這東西很有趣，累積越多經驗就增加更多知識，卻也受到過去經驗的限制。而前所未有的全新構思常會潛藏在沒有經驗的人們純真的發言當中。我說的就是要活用這方面。就這方面來說，經驗較淺的年輕人亦有其存在價值。

接下來，GAPHOTON 最想對客戶宣揚的是？

希望宣揚 GIGAPHOTON 是研發獨家技術完成最佳 HVM 用產品的專業廠商。我深信這樣的精神，即使跨足不同的雷射應用領域，也必將成功。