支援50W的4kHz KrF準分子雷射
4kHz KrF準分子雷射系列的第3代機種G45K，是提升最尖端記憶體晶片(memory chip)生產效率、功率高達50 W的高輸出機種。再者，藉由延長模組壽命和綠能技術(Green technical)，同時實現「提升運作率」和「減少對環境的影響」。
特色
高輸出化
輸出功率高達50W，與傳統機種相比多出25%，得以提升最尖端記憶體晶片的產能。
延長模組壽命
將主要模組壽命延長20%，減少因維護設備而產生的停機時間，可望藉此更進一步提高設備運作率。
綠色技術
標準搭載「無氦氣」，將設備運作期間的氦氣用量降至零，並藉由連接氖氣回收系統「hTGM」，降低營運成本和減少對環境的影響。
主要規格
| 規格項目 | 值* |
|---|---|
| 發射波長 | 248 nm |
| 平均輸出功率 | 40 W – 50 W |
| 脈衝能量 | 10.0 – 12.5 mJ |
| 發射頻率 | 4,000 Hz |
| 譜頻幅度（FWHM） | 0.35 pm |
| 譜頻幅度（以 95 %能量累計，E95） | 1.1 pm |
