引進GT65A之最先進技術，成功達成以高機能擴充性，進一步提升產能（晶圓輸出）
GT45A是以最先進ArF液浸用光源GT65A平台為基礎所開發之具備高機能擴充性的機型。
透過配備最新型模組，確保「高運作率」，並使用承襲現有機型GT40A的「無氦技術」，同時達成提升產能及減輕環境負擔。
另外，本機型也具備更高的光譜寬度安定性、可變技術、最高90W的高輸出功率，可應付顧客多樣化的需求。
特色
模組壽命延長
標準配備已在GT65A引進並實證的模組壽命延長技術，成功降低保養維護頻率，並對提升產能做出貢獻。
高機能擴充性
可配備GT65A可使用的各種機能及技術。
- 透過提升光譜寬度安定性，提升CD均勻性
- 利用光譜寬度可變技術，對不同世代曝光機的對比性能差異，進行校正
- 利用振動頻率6kHz、最高90W的高輸出功率，讓產能進一步提升（吞吐量）
- 利用sMonitoring，進行數據收集、監控及分析
主要規格
| 規格項目 | 值* |
|---|---|
| 發射波長 | 193 nm |
| 平均輸出功率 | 45 – 90 W |
| 脈衝能量 | 11.25 – 15 mJ |
| 發射頻率 | 4,000 – 6,000 Hz |
| 譜頻幅度（以 95 %能量累計，E95） | ≤0.5 pm |
