ArF Immersion

ArF Dry

Data Products


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500.png" alt="G41A" class="wp-image-7664" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500.png 500w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500-300x300.png 300w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G41A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="支援-100nm-技術節點的-4-khz-arf-準分子雷射裝置">支援 100nm 技術節點的 4 kHz ArF 準分子雷射裝置</h2>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="主要特色">主要特色</h3>



<ul class="wp-block-list"><li>全新設計的固體脈衝電源，可發射頻率 4000 Hz 的雷射光，達到 20W 的高產量</li><li>繼承 GIGAPHOTON KrF 雷射（G10K/G20K 系列）的高可靠性設計</li></ul>
</div></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="主要規格"><strong><strong>主要規格</strong></strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>規格項目</th><th><strong>值</strong><sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>發射波長</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均輸出功率</td><td>20 W</td></tr><tr><td>脈衝能量</td><td>5.0 mJ</td></tr><tr><td>發射頻率</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>頻譜線寬（FWHM）</td><td>0.35 pm</td></tr><tr><td>譜頻幅度（以 95 %能量累計，E95）</td><td>0.85 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 上述各規格值為代表值</figcaption></figure>
</div></div>


G41A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500.png" alt="GT45A" class="wp-image-7624" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500.png 500w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500-300x300.png 300w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT45A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="引進gt65a之最先進技術-成功達成以高機能擴充性-進一步提升產能-晶圓輸出">引進GT65A之最先進技術，成功達成以高機能擴充性，進一步提升產能（晶圓輸出）</h2>



<p>GT45A是以最先進ArF液浸用光源GT65A平台為基礎所開發之具備高機能擴充性的機型。<br>透過配備最新型模組，確保「高運作率」，並使用承襲現有機型GT40A的「無氦技術」，同時達成提升產能及減輕環境負擔。<br>另外，本機型也具備更高的光譜寬度安定性、可變技術、最高90W的高輸出功率，可應付顧客多樣化的需求。</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="特色">特色</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="模組壽命延長">模組壽命延長</h4>



<p>標準配備已在GT65A引進並實證的模組壽命延長技術，成功降低保養維護頻率，並對提升產能做出貢獻。</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="高機能擴充性">高機能擴充性</h4>



<p>可配備GT65A可使用的各種機能及技術。</p>



<ul class="wp-block-list"><li>透過提升光譜寬度安定性，提升CD均勻性</li><li>利用光譜寬度可變技術，對不同世代曝光機的對比性能差異，進行校正</li><li>利用振動頻率6kHz、最高90W的高輸出功率，讓產能進一步提升（吞吐量）</li><li>利用sMonitoring，進行數據收集、監控及分析</li></ul>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<p><strong>主要規格</strong></p>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>規格項目</th><th>值<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>發射波長</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均輸出功率</td><td>45 &#8211; 90 W</td></tr><tr><td>脈衝能量</td><td>11.25 &#8211; 15 mJ</td></tr><tr><td>發射頻率</td><td>4,000 &#8211; 6,000 Hz</td></tr><tr><td>譜頻幅度（以 95 %能量累計，E95）</td><td>≤0.5 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 上述各規格值為代表值</figcaption></figure>
</div></div>


GT45A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500.png" alt="GT40A" class="wp-image-7623" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500.png 500w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500-300x300.png 300w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/GT40A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="支援-65nm-或更新技術節點的新產品-4-khz-arf-準分子雷射裝置">支援 65nm 或更新技術節點的新產品－－4 kHz ArF 準分子雷射裝置</h2>



<p>本裝置為世界首創採用注入鎖定技術的曝光裝置用光源機種，讓以往認為兩難的狹隘頻譜與高輸出功率得以並存。且因發射低峰值脈衝能量減輕對光學系統的傷害，所抑制的經常成本達到業界頂尖等級。此外，除搭載新開發的高階自我診斷功能（self diagnosis）外，更大幅改善模組更換性等服務性，達成高可靠性、高稼動率。</p>



<hr class="wp-block-separator"/>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="特色">特色</h3>



<h4 class="wp-block-heading" id="注入鎖定-injection-locked-雷射"><strong>注入鎖定（Injection-locked）雷射</strong></h4>



<p>領先業界首次將<em>注入鎖定</em>技術(*)導入量產機種，可達 45 W 的高輸出功率，能高穩定發射半寬度達 0.2 pm、E95 達 0.5 pm 的頻譜線寬 DUV 雷射光，為業界頂級水準。並且實現了低峰值脈衝能量，減輕對雷射以及曝光裝置光學系統的傷害。</p>



<figure class="wp-block-table is-style-regular"><table><tbody><tr><td><strong>注入鎖定</strong>技術是將調整為極窄頻譜寬度發射的低功率雷射光（Master），注入高輸出功率的雷射共振器（Amplifier），經過雷射共振增幅，令以往認為窒礙難行的狹隘頻譜與高輸出功率得以並存的技術。</td></tr></tbody></table></figure>



<h4 class="wp-block-heading" id="業界頂級的低經常成本"><strong>業界頂級的低經常成本</strong></h4>



<p>注入鎖定技術能減少對雷射光學零件的負擔，更因系統結構精緻化，大幅減低耗材（模組）的種類及更換頻率。以結果而言，實現了業界頂級的低經常成本。</p>



<h4 class="wp-block-heading" id="高可靠性-高稼動性設計"><strong>高可靠性、高稼動性設計</strong></h4>



<p>除了新開發的高階自我診斷功能（self diagnosis）外，更大幅改善模組更換性等服務性，達到半導體工廠所需的高可靠性、高稼動率。</p>
</div></div>



<div style="height:100px" aria-hidden="true" class="wp-block-spacer"></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="主要規格">主要規格</h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>規格項目</th><th>值<sup>*</sup></th></tr></thead><tbody><tr><td>發射波長</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均輸出功率</td><td>45 W</td></tr><tr><td>脈衝能量</td><td>11.25 mj</td></tr><tr><td>發射頻率</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>頻譜線寬（FWHM）</td><td>0.2 pm</td></tr><tr><td>譜頻幅度（以 95 %能量累計，E95）</td><td>0.5 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 上述各規格值為代表值</figcaption></figure>
</div></div>


GT40A


<div class="wp-block-image"><figure class="aligncenter size-full"><img loading="lazy" decoding="async" width="500" height="500" src="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500.png" alt="G42A" class="wp-image-7658" srcset="https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500.png 500w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500-300x300.png 300w, https://webapi.gigaphoton.global/wp-content/uploads/2022/01/G42A_500-150x150.png 150w" sizes="(max-width: 500px) 100vw, 500px" /></figure></div>



<h2 class="wp-block-heading" id="支援-80nm-技術節點的-4-khz-arf-準分子雷射裝置">支援 80nm 技術節點的 4 kHz ArF 準分子雷射裝置</h2>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="主要特色">主要特色</h3>



<ul class="wp-block-list"><li>以 G41A 機種為基礎，改良頻譜寬度（半高寬），將 G41A 的 0.35 pm 改進至 0.3 pm，可支援 80nm 設計節點</li><li>各模組採用高耐久性零件加長使用壽命，大幅減低 CoO</li><li>雷射共振腔：電極處採用高耐久性零件</li><li>窄頻寬化模組、監視器模組等：光學零件採用高耐久性材料</li></ul>
</div></div>



<div class="wp-block-group"><div class="wp-block-group__inner-container is-layout-flow wp-block-group-is-layout-flow">
<h3 class="wp-block-heading" id="主要規格"><strong>主要規格</strong></h3>



<figure class="wp-block-table"><table class="has-fixed-layout"><thead><tr><th>規格項目</th><th>值*</th></tr></thead><tbody><tr><td>發射波長</td><td>193 nm</td></tr><tr><td>平均輸出功率</td><td>20 W</td></tr><tr><td>脈衝能量</td><td>5.0 mJ</td></tr><tr><td>發射頻率</td><td>4,000 Hz</td></tr><tr><td>頻譜線寬（FWHM）</td><td>0.3 pm</td></tr><tr><td>譜頻幅度（以 95 %能量累計，E95）</td><td>0.75 pm</td></tr></tbody></table><figcaption>(*) 上述各規格值為代表值</figcaption></figure>
</div></div>


G41AG41A

支援 100nm 技術節點的 4 kHz ArF 準分子雷射裝置

主要特色

主要規格

Other ArF Dry

GT45A

GT40A

G42A

規格項目	值^*
發射波長	193 nm
平均輸出功率	20 W
脈衝能量	5.0 mJ
發射頻率	4,000 Hz
頻譜線寬（FWHM）	0.35 pm
譜頻幅度（以 95 %能量累計，E95）	0.85 pm