可達全球最高輸出功率 90W、支援浸潤雙重曝光的 ArF 準分子雷射「GT62A」
GT62A 為 GT 系列最新機種，採用注入鎖定方式，即所謂第四代 GT（GigaTwin）平台。為支援浸潤雙重曝光，供應 90W 的輸出功率。更為因應各方客戶的需求，亦可以 60W 進行運轉，導入系統時的性價比優異。
裝置內搭載共振腔、光學零件等耗材的長壽技術，以及讓停機時間減至最低的 GIGAPHOTON 獨家技術，在經濟方面成為您導入最先進科技的後盾。
GT 系列獲得全球各國主要客戶大量採購，其設計構思、可靠性均獲高度評價。GT62A 的平台設計與既有的 GT 系列系出同門，尋求極限共用化，對使用者而言，從裝置導入起便能期待高度可靠性。
GT62A的特色
高輸出、高穩定性
採用新研製電源，與 60W 機種 GT61A 相較可提升功率達 50%，實現 90W 高輸出功率。並搭載因應高輸出增加的熱負載對策技術以及新研發的高耐久性光學元件，確保高輸出運轉時的穩定性能。並且標準配備 GIGAPHOTON 獨家技術－－BCM（頻寬控制模組；Bandwidth Control Module），穩定供應頻譜。
GT62A 為了因應各方客戶的需求，也推出了 60W 輸出規格機種。如此一來，您可於導入當時壓抑成本，以 60W 輸出持續運轉，等待將來有需要時可升級為 90W，於最適當的時機做出最必要的投資進行使用。
抑制成本
半導體生產裝置的高性能化、高產量化進步速度如飛。我們認為，讓此類生產裝置以極限稼動率運轉方可與客戶工廠生產性的提升接軌，因此 GIGAPHOTON 多年以來不斷持續進行著達成並維持雷射高稼動率的活動。這些技術已配備在 GT 系列，最新機種 GT62A 更配備了更換氣體交換停機時間為既有機種10分之1的科技，以及有效使用共振腔、光學元件延伸實質壽命，延長維修週期並抑制成本的技術。
主要規格
| 規格項目 | 值* |
|---|---|
| 發射波長 | 193 nm |
| 平均輸出功率 | 60/90 W |
| 脈衝能量 | 10.0/15.0 mJ |
| 發射頻率 | 6,000 Hz |
| 譜頻幅度（以 95 %能量累計，E95） | 0.35 pm |
